Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158302 zu verkaufen

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
Verkauft
ID: 9158302
Cluster spray coating / processing system Computer control Staubli unimaton robotic arm Nesting station Chill unit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000 ist eine hochpräzise Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Mikrofabrikationsanwendungen. Dieses System enthält zahlreiche Funktionen zur Verbesserung seiner Leistung und Ausgangsqualität, so dass es die Anforderungen der modernsten Halbleiterprozesse erfüllen kann. FSI Polaris 2000 ist mit einer tiefen UV-Lichtquelle und einer Tieftemperatur-Backkammer ausgestattet. Dies gewährleistet niedrige Partikel- und Verschmutzungswerte bei der Verarbeitung sowie genaue Lichteinwirkzeiten. Ein hochpräziser Masken-Aligner ist ebenfalls im Lieferumfang enthalten, der eine präzise Herstellung komplizierter Muster und Merkmale garantiert. Um exakte und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten, enthält TEL Polaris 2000 eine Reihe von Funktionen, die eine genaue Kontrolle der Parameter des Photolackprozesses ermöglichen. Dazu gehören anwenderdefinierte Rezepte für die Belichtungs- und Entwicklungsprozesse, präzise Massenstromregler für die chemischen Bäder und eine Reihe automatisierter Wartungsroutinen, um das Gerät über lange Zeiträume optimal in Betrieb zu halten. Die im Lieferumfang von TOKYO ELECTRON Polaris 2000 enthaltene Wärmesteuerungsmaschine ist auch für eine hohe Präzision und Genauigkeit ausgelegt. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Temperatur und ein flaches Temperaturprofil während des Photoresist-Backprozesses, was entscheidend für die Erzielung einheitlicher Ergebnisse ist. Die eingebauten Sicherheits- und Ergonomiefunktionen sorgen für Sicherheit und Komfort des Bedieners. Das Werkzeug umfasst automatische chemische Badstandüberwachung, automatisierte Entlüftung, Temperatursicherheitsverriegelungen und benutzerfreundliche Automatisierungskomponenten. Insgesamt ist Polaris 2000 Asset eine ideale Lösung für fortschrittliche Mikrofabrikationsprozesse. Seine Kombination von Eigenschaften macht es hochpräzise und wiederholbar, und seine Sicherheit und ergonomische Eigenschaften sorgen dafür, dass es sicher und komfortabel zu bedienen ist.
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