Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #293616823 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500 ist eine Photolackausrüstung, die zur Herstellung mikroelektronischer und optoelektronischer Komponenten mit hoher Präzision verwendet wird. Das System verwendet eine fortschrittliche Schrittmotor-Bewegungseinheit und proprietäre Software, um bestimmte Bereiche von Photolack-Material auf einem Substrat genau zu belichten und zu entfernen. Die Maschine verfügt über einen optimierten Fokusmagneten und ein geräuscharmes Shutter-Design, das eine Submikron-Präzision im Belichtungsprozess ermöglicht. Das Werkzeug verwendet einen strahloptimierten Beleuchter, der in der Lage ist, Lichtmuster und andere Bildformen in sehr hoher Auflösung zu erzeugen. Dieser Beleuchter bietet eine breite Palette von Lichtwellenlängen und hat die Fähigkeit, stark wiederholbare und präzise Lichtmuster für eine bessere Ausbeute zu schaffen. Darüber hinaus verfügt der Beleuchter über eine Blende Illuminance Monitor, der eine genaue Beleuchtungsstärkenüberwachung ermöglicht. Das Asset verfügt über ein digitales Objektivmodell für die Projektionsoptik. Dies ermöglicht eine genaue Positionierung der Projektionslinse und bietet die Vorteile einer einfachen Ausrichtung, einer verbesserten Qualität der sich wiederholenden Muster, einer erhöhten Auflösung und einer gleichmäßigen, wiederholbaren Leistung über das gesamte Sichtfeld. Das Herzstück der Ausrüstung ist die 8-Zoll-Futterstufe, die Substrate während der Verarbeitung genau positionieren kann. Sein Mehrpunkt-Futtersystem ist in der Lage, Substrate sicher an Ort und Stelle zu halten und gleichzeitig eine reibungslose Bewegung mit hoher Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Bühne ist mit Sensoren ausgestattet, die die Größe, Art und Position des Substrats sowie die Temperaturmessung erfassen. Das Gerät verfügt außerdem über ein Multi-MESFET (Multi-Channel, Electron-Selective-Field-Melting) -Filmmodul, das das Photolackmaterial exakt belichtet und vom Substrat entfernt. Dieses Modul unterstützt mehrere MESFET-Kanäle. zusammen mit dem Photoresist-Prozessmodul ermöglicht das Filmmodul eine stark wiederholbare und präzise Steuerung während des Photoresist-Prozesses. FSI Polaris 3500 ist eine innovative Fotolackmaschine, die mikroelektronische und optoelektronische Bauteile mit hoher Genauigkeit herstellt. Der optimierte Beleuchter, das digitale Objektivwerkzeug, die Spannstufe und das Multi-MESFET-Folienmodul bieten beispiellose Werkzeugfähigkeit und Produktionsgenauigkeit.