Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris PR #9375500 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris PR ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von FSI International und TEL. Das System soll Anwendern eine überlegene Auflösung für Muster- und Ätzprozesse ermöglichen. Es kombiniert einen hochauflösenden Maske Aligner mit einer umfassenden Nass- und Trockenverarbeitungslösung. Die Maske Aligner in der Einheit ist in der Lage, präzise Musterung von Mikro-Features mit Submikron-Auflösung. Dies geschieht durch einen fortschrittlichen Projektions-Lithographiekopf mit verbesserter Defokussierung und Unterblendennähung. Der Projektor verfügt auch über variable Stigmation und mehrere Autofokussierungssysteme, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Die Nass- und Trockenbearbeitungslösung basiert auf einer integrierten Plattform, die Plasmabearbeitungskammern, Spin-Bearbeitungswerkzeuge, Ätzwerkzeuge, einen Substratlader und eine Benutzeroberfläche kombiniert. Die Plasmabearbeitungskammern bieten überlegene Ätzraten und Stabilität der Resistschicht; sie ermöglichen auch eine präzise Steuerung des Ätzprozesses, um reduzierte Überätzeffekte zu erzielen. Die Spin-Bearbeitungswerkzeuge ermöglichen eine präzise Strukturierung der Photolacke und anderer Materialien. Die Ätzwerkzeuge ermöglichen das präzise Entfernen nicht planarer Substrate oder KEs. Darüber hinaus bietet der Substratlader eine automatisierte Möglichkeit, Substrate zwischen verschiedenen Bearbeitungswerkzeugen zu bewegen. Zudem bietet die Maschine mit ihrem integrierten Prozesssteuerungswerkzeug eine präzise Prozesssteuerung. Dieses Asset verfügt über Datenprotokollierung, Kommunikation mit anderen Analysesystemen und ein Fernüberwachungstool, mit dem Prozessparameter zur Optimierung der Prozessleistung angepasst werden können. Zusätzlich ist das Modell mit zusätzlichen Funktionen wie Belichtungsüberwachung und Wafersegmentierung ausgestattet, um die Prozesssteuerung weiter zu verbessern. Schließlich bietet die Benutzeroberfläche der Geräte eine intuitive Bedienung und Datenvisualisierung. Es verfügt über ein ergonomisches Design, das es einfach zu bedienen macht. Es enthält auch ein fortschrittliches Berichtsgenerierungssystem für Qualitätskontrollprozesse. Insgesamt ist FSI Polaris PR eine fortschrittliche Photolackeinheit, die es Anwendern ermöglicht, eine überlegene Auflösung für Muster- und Ätzprozesse zu erreichen. Es kombiniert einen hochauflösenden Mask Aligner mit einer umfassenden Nass- und Trockenverarbeitungslösung und bietet mit seiner integrierten Prozesssteuerungsmaschine eine präzise Prozesssteuerung. Die Benutzeroberfläche ist intuitiv und ergonomisch für eine einfache Bedienung ausgelegt.