Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9092981 zu verkaufen

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris
ID: 9092981
Track system.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung für die Herstellung integrierter Schaltungen. Photoresist ist eine Technologie zur Übertragung von Mustern und Strukturen auf Substrate im fab-Prozess. Dieses spezielle Werkzeug ist ein überlegenes Werkzeug in Bezug auf Geschwindigkeit, Auflösung und Kapazität. Die Einbauten des Systems sind mit einem fortschrittlichen Hochgeschwindigkeits-Halbleiterprozessor aufgebaut. Dies ist der Kern der Einheit, die wesentliche Funktionen wie Bedienung, Datenübertragung und Bildverarbeitung ausführt. Es gibt auch eine hochempfindliche optische Maschine, bestehend aus einem Scanlaser und Linsen, die zusammen mit einem Ablenkspiegel wirkt, um eine präzise Bildgebung zu gewährleisten. Das Tool ist mit einem Dual-Beam-Scanner integriert und mit der patentierten Lösung-fokussierten Bildgebungstechnologie von Mitsubishi kann FSI Polaris bis zu 2.5X schnellere Bildgebungsleistung liefern als sein Vorgänger. Das Asset umfasst die Temperaturregelung und eine Vielzahl weiterer Funktionen. Das Modell wird auch mit einer optimierten Belichtungszeit gebaut, um sicherzustellen, dass der Fotolack keine dunklen Defekte oder Rückstände erzeugt. Neben seiner Schnelligkeit und bildgebenden Präzision verfügt dieses Gerät über eine einzigartige Maskenbühne. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer, die Höhe und Neigung der Fotomaske während der Bildgebung anzupassen, so dass die kritische Dimension (CD) von Submikron-Merkmalen genau eingestellt werden kann. TEL Polaris unterstützt zudem eine breite Palette von E-Strahl- und Lasertechnologien und bietet flexiblere Lithographieoptionen als Wettbewerbstechnologien. Außerdem beherbergt das System einige einzigartige fortschrittliche Kameratechnologien, die es dem Benutzer ermöglichen, die gesamte Waferabdeckung in Echtzeit anzuzeigen. Dadurch können Fehlerstellen identifiziert und korrigiert werden, was die Steuerung des Waferprozesses wesentlich effizienter macht. Im Hinblick auf die Sicherheit nutzt das Gerät ein fortschrittliches mehrschichtiges Sicherheitsmerkmal, das sicherstellt, dass die Sicherheitsvorschriften eingehalten werden, und wichtige Komponenten der Maschine sind vor Schäden durch elektromagnetische Störungen geschützt. Alles in allem ist Polaris ein einzigartiges Fotoresist-Tool, das überlegene Ergebnisse und eine breite Palette von Optionen bietet. Es hat sich als eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung integrierter Schaltungen erwiesen.
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