Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384397 zu verkaufen

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ID: 9384397
Wafergröße: 4"
4" 8-Station.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP ist eine Photolackanlage, die die Montage und Verarbeitung von Halbleiterscheiben in einem steuerbaren Radius ermöglicht. Es verwendet die Pulsweitenmodulationstechnologie, um eine präzise Steuerung des Waferradius zu ermöglichen. Dabei wird eine Torodialspindel am Motor montiert und zur Einstellung des Radius des Wafers gesteuert. FSI PVDF Turntable für Mercury MP unterstützt die gesamte Palette von FSI Control Unit für TEL Turntable für Heat und Mercury MP Photoresist Prozesse. Der EH-030TTEL PVDF-Plattenspieler für Mercury MP verfügt über mehrere Funktionen, die den genauen und sicheren Präzisionsbetrieb des Systems fördern sollen. Sie umfasst eine exzentrisch montierte Montage-/Entlade-Plattform für die Wafer, die eine Zentrierung der Wafer gewährleistet. Es verfügt auch über einen ERPM-Motor und eine Spindel, die für hohe Geschwindigkeit Wafer Spin in präzisionsgesteuerten Kreisen für Gleichmäßigkeit und Genauigkeit ermöglichen. Der Motor ist bürstenlos und vollständig von einem Schutzgehäuse umschlossen, um Staub und Rückstände zu vermeiden. Der EH-030TPVDF Turntable für Mercury MP verfügt auch über einen Überspannungsschutz (OVP), eine Hochleistungsstufe zur Verhinderung von Überhitzung und eine integrierte Temperaturregelung für Genauigkeit. Es ist auf Genauigkeit kalibriert und enthält einen Monitor/Drucker-Port für softwarebasierte Kalibrierung. Das Wafer-Zentrierelement sorgt für eine präzise Zentrierung der Wafer und die PVDF-Beschichtung verhindert einen Abrieb der Waferoberfläche. Der Prozessbetrieb des EH-030TTOKYO ELECTRON PVDF Turntable für Mercury MP ist schnell und effizient. Es ist von Natur aus sicher, da die Spindel und alle beweglichen Teile im Schutzgehäuse eingeschlossen sind. Die Pulsweitenmodulation gewährleistet eine gleichmäßige Belichtung des Resists mit dem von der Einheit emittierten Quecksilberlicht. Dadurch wird eine gleichbleibende und qualitativ hochwertige Resistschicht auf den Wafer aufgebracht. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP ist eine Photoresist-Maschine, die ein effizientes und sicheres Verfahren zur Montage und Verarbeitung von Halbleiterscheiben in einem steuerbaren Radius bietet. Es enthält eine Montage-/Entladeplattform für Präzision, einen geschlossenen Motor für Staubverhütung, Temperaturregelung für Genauigkeit und Pulsbreitenmodulationstechnologie für die Konsistenz der Belichtung des Resists mit dem Quecksilberlicht. Es ist ein zuverlässiges Werkzeug für diejenigen, die eine hochwertige Resistschicht auf ihren Halbleiterscheiben suchen.
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