Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #9354313 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury ist eine automatisierte, in sich geschlossene Photoresist-Ausrüstung für OEM-Integratoren und Anwender erster Ebene. Es ist eine kostengünstige Lösung, die automatisierte Spin-Beschichtung und Backfunktionen mit Abtriebsraten von bis zu 75 Wafern pro Stunde bietet. Das System umfasst einen 11,8 "Spin-Track-Drehteller mit einer 12-Grad-Neigung zur gleichmäßigen Dispersion von Photoresist über den Wafer. Der PVDF-Drehteller wird für bis zu 3000 U/min mit einer Oberplattenbeschleunigung von 500 U/min/s angetrieben. Der verstellbare Tisch hat einen Flüssigkeitseintrittstemperaturbereich zwischen 25 ° C und 65 ° C und eine rückseitige Heiztemperatur von bis zu 100 ° C. Dieser PVDF-Plattenspieler ist für eine Vielzahl von Photoresists konzipiert, einschließlich positiver und negativer Resiststoffe, Hochtemperatur-Photoresists, Nachbeschichtungsbehandlungen und anderen verwandten Prozessmaterialien. Die große Kapazität ermöglicht maximalen Durchsatz bei minimaler Rüstzeit. Integrierte SPS und eine Touchscreen-Bedienoberfläche ermöglichen eine einfache und präzise Steuerung der Flüssigkeitszufuhreinheit. Die Maschine ist UL-zertifiziert für den sicheren Betrieb und wurde gebaut, um die höchsten Standards für Haltbarkeit zu erfüllen. Der Drehtisch verfügt über ein In-Line-Diagnosewerkzeug, das Schlüsselfunktionen überwacht, einschließlich Vakuum, Plattentemperaturen, Gleichmäßigkeit und Druck auf das Substrat widerstehen. Ein einzigartiges Softwarepaket automatisiert den gesamten Resistbeschichtungszyklus von der Dosierungssteuerung bis zur Waferbeladung. Erweiterte Funktionen für Datenprotokollierung und Rezept-Management sind ebenfalls enthalten und sorgen für eine präzise Prozesskonformität mit einem Klick. Um einen chemischen Aufbau zu verhindern, ist der PVDF-Plattenspieler mit einer einmaligen Verwendung, selbstreinigenden Düsen und Entwässerungsmitteln ausgestattet, die die Verwendung von sauberem Resist fördern. Das Modell wurde auch entwickelt, um Spin-off-Abfälle durch ein effektives Sprühdesign und integrierten Löscher zu minimieren. FSI PVDF Turntable für Mercury ist die ideale Lösung für eine breite Palette von Photolackverarbeitungsanforderungen. Mit seinem robusten Design, integrierten Sicherheitsmerkmalen und einem automatisierten, effizienten Betrieb ist es die perfekte Wahl für Benutzer von Photoresist.