Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Reflex #293662028 zu verkaufen
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Reflex Photoresist ist ein fortschrittliches Photolithographiesystem, das die Verarbeitung hochauflösender Muster auf Halbleiterscheiben ermöglicht. Das Gerät nutzt komplexe Optik und fortschrittliche Objektivdesigns, um eine hochauflösende Abbildung von Halbleiterscheiben zu erreichen. Die FSI Reflex-Maschine verwendet einen Mehrwellenlängenbeleuchter, um eine gleichmäßige und präzise Beleuchtung der Waferoberfläche zu gewährleisten. Das Werkzeug ist in der Lage, die Waferoberfläche mit mehreren Wellenlängen gleichzeitig zu beleuchten, wodurch photolithographische Belichtungen mehrerer Schichten gleichzeitig möglich sind. Der Beleuchter ist mit Filtern ausgestattet, die eine selektive Beleuchtung der verschiedenen Photolackschichten ermöglichen. TEL Reflex Asset ist mit einem Laserscanner ausgestattet, der eine hochauflösende Abbildung der Waferoberfläche ermöglicht. Der Laserscanner ist in der Lage, die Waferoberfläche mit extrem hoher Geschwindigkeit abzutasten. Das Modell ist in der Lage, eine 3,7mm x 3,7mm Quadratfläche mit einer Rate von 8.000 Scans pro Sekunde und eine 8mm x 8mm Quadratfläche mit einer Rate von 1 Scan pro Sekunde zu scannen. TOKYO ELECTRON Reflex ist zudem mit einer integrierten Systemsteuerung ausgestattet, die eine präzise Manipulation der Geräteparameter ermöglicht. Die Steuerung ist in der Lage, die Maschinenparameter des Laserscanners, des Beleuchters und der Beleuchtungsfilter zu steuern. Der Regler ist auch in der Lage, die Schichtdicke der Photolackschicht und die Reflektivität der Wafer zu überwachen. Reflex-Tool ist kompatibel mit einer Reihe von fortschrittlichen Fotolackmaterialien, einschließlich i-line, Deep UV und Röntgen. Das Asset ist in der Lage, eine Reihe von Photolackmustern zu verarbeiten, einschließlich Linien- und Raummuster, Kontaktlöcher und mehrere andere Mustergeometrien. Das Modell ist auch in der Lage, mehrere Schicht Photolackmuster, wie Zwischenschicht dielektrische Schichten zu verarbeiten. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Reflex Ausrüstung ist einfach zu bedienen und zu warten. Das System ist in sich geschlossen und erfordert eine minimale Wartung. Das Gerät ist in der Lage, Temperatur und Feuchtigkeit automatisch zu steuern, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Die Maschinenparameter und Einstellungen können mit dem integrierten Werkzeugcontroller einfach geändert werden. FSI Reflex Asset ist ein fortschrittliches Photolithographiemodell, das die Verarbeitung hochauflösender Muster auf Halbleiterscheiben ermöglicht. Das Gerät verwendet einen Mehrwellenlängenbeleuchter, einen Laserscanner und einen integrierten Systemcontroller, um eine hochauflösende Abbildung der Waferoberfläche zu erreichen. Das Gerät ist in der Lage, Temperatur und Feuchtigkeit automatisch zu steuern, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Die Maschinenparameter und Einstellungen können mit dem integrierten Werkzeugcontroller einfach geändert werden. Das Asset ist kompatibel mit einer Reihe fortschrittlicher Fotolackmaterialien und bietet eine einfache und effiziente Möglichkeit zur Verarbeitung von mehrschichtigen Photolackmustern.
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