Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233648 zu verkaufen

ID: 9233648
System.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP ist eine vielseitige Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellung und fortschrittlichen Lithographieverfahren verwendet wird. Es ist für eine Vielzahl von Aufgaben konzipiert, wie Halbleiterverarbeitung, mikroelektronische Geräteherstellung, Nanotechnologie, fortschrittliche Lithographie und andere oberflächenmontierte Bereiche. Das System bietet eine umfassende Lösung für die Herstellung von Wafern, einschließlich Strukturierung, Ausrichtung, Ätzen, Messtechnik und Abscheidung. Seine hochmodernen Funktionen ermöglichen es ihm, die hohen Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie zu erfüllen. Die FSI Saturn MP-Einheit besteht aus drei Kernkomponenten: dem Hauptcontroller, einem Satz von Prozessmodulen und einem Roboterarm zum Be- und Entladen von Wafern aus der Maschine. Die Steuerung ist verantwortlich für die Steuerung aller Prozesse und die Verbindung mit externen Maschinen, einschließlich Maskenausrichter, Schrittmotoren, Resistrollen, Spin-Coater, atmosphärische Monitore und eine Reihe von anderen Zubehör. Die Prozessmodule bieten alle notwendigen Energie-, Heiz- und Kühlfunktionen, um den Photolithographieprozess zu unterstützen. Der Roboterarm ist für das Be- und Entladen von Wafern verantwortlich und kann für eine Reihe von Wafergrößen eingestellt werden. TEL Saturn MP bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, um die Effizienz zu maximieren und Ausfallzeiten zu minimieren. Es umfasst eine Multi-Template-Benutzeroberfläche für schnelle Musteranpassungen sowie Dokumentenverwaltung und statistisches Reporting. Es bietet auch Ein-Klick-Wafer-Handling für den schnellen Zugriff auf Wafer-Startparameter und ein umfassendes Rezept-Management-Tool für die Fernbearbeitung und Verwaltung von Photolithographie-Rezepten. Das Asset bietet zudem optionale Offline-Rückverfolgbarkeit zur Überwachung und Aufzeichnung verschiedener Wafer-Schritte zur Qualitätssicherung. TOKYO ELECTRON Saturn MP ist kompatibel mit einer Vielzahl von Resistchemien, einschließlich Polymeren, Dauerton und Photoresists. Es verfügt über eine branchenführende komplette Produktlinie für Verbrauchs- und Ersatzteile und ein engagiertes technisches Personal, um Kundenlösungen und Support anzubieten. Dadurch wird sichergestellt, dass das Modell mit den anspruchsvollsten Anwendungsanforderungen Schritt halten kann und gleichzeitig Sicherheit und Leistung auf höchstem Niveau gewährleistet.
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