Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233649 zu verkaufen

ID: 9233649
System.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP ist eine vollautomatische hochauflösende Photoresist-Ausrüstung, die die Herstellung ultramikroempfindlicher Geräte wie MEMS (microelectrical mechanical systems) und biomedizinischer Geräte erleichtert. Mit fortschrittlicher Belichtungssteuerung mit niedriger Dosisgleichförmigkeit eignet sich dieses System für die Verarbeitung von Substraten mit einer Größe von bis zu 4 Zoll und einer Größe von 100 μ m. FSI Saturn MP ist mit einem digitalen polygonalen Scanner ausgestattet, der es dem Gerät ermöglicht, eine Auflösung von bis zu 5 μ m in einem Durchgang zu erreichen. Dieser Scanner kann sowohl im Einzelziel- als auch im Multizielmodus scannen und bietet Anwendern Flexibilität bei der Feinabstimmung der Behandlung. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen speziellen Kalibriertisch, um präzise Ausrichtungen bei der Verwendung einer der verschiedenen Overlay-Software zu gewährleisten, mit der das Werkzeug kompatibel ist. TEL Saturn MP bietet Anwendern außerdem eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht und somit ideal für Anfänger ist. Es unterstützt verschiedene Substrate, darunter Si (Silizium), Polymer-, Glas- und Quarzmaterialien sowie traditionelle Nassverfahren. All diese Funktionen machen das Asset sehr vielseitig und ermöglichen eine effektive Strukturierung selbst der anspruchsvollsten Materialien. Das Modell ist auch in der Lage, Prozessdaten zu verfolgen und aufzuzeichnen, die für das Lernen und die Fehlerbehebung von unschätzbarem Wert sind. Diese Funktion ist besonders vorteilhaft im Umgang mit komplexen Substraten, da die Geräte den Anwendern eine detaillierte Analyse ihrer Muster und Optimierungsergebnisse ermöglichen können. Für zusätzlichen Komfort wird TOKYO ELECTRON Saturn MP mit einer modular aufgebauten Chemie-Station angeboten, die bei Bedarf einen schnellen und einfachen Austausch ermöglicht. Dies könnte insbesondere bei Substratmaterialien nützlich sein, die einer speziellen Verarbeitung bedürfen. Insgesamt ist Saturn MP ein hochmodernes Photoresist-System, das die Herstellung ultramikroempfindlicher Geräte vereinfacht und effizienter macht. Mit seiner fortschrittlichen Belichtungssteuerung, der intuitiven Benutzeroberfläche und der modular aufgebauten Chemiestation bietet dieses Gerät Benutzern eine leistungsstarke und zuverlässige Photolacklösung.
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