Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293811533 zu verkaufen

FSI Saturn ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die für die fortschrittliche Lithographie-Verarbeitung fortschrittlicher IC-Technologien entwickelt wurde. Das System besteht aus einer hochauflösenden digitalen Abbildungseinheit, die mit einer Hochgeschwindigkeits-Thermo-/Vakuum-Verarbeitungsstation gekoppelt ist. Es ermöglicht hochpräzise Bildgebungs- und Ätzfunktionen für die Erstellung von Submikron-Features mit hohem Seitenverhältnis auf Halbleiterscheiben. Saturn bietet eine Kombination aus digitalen Bildgebungs- und Thermo-/Vakuumverarbeitungstechnologien, um extrem genaue, wiederholbare und zuverlässige Lithographieergebnisse zu liefern. Es verwendet eine proprietäre digitale Bildaufnahmemaschine, die optisch korrigierte, Vollfeld- und großflächige Bildaufnahmefunktionen in einer einzigen Belichtung bietet. Darüber hinaus bietet es einen erweiterten Satz von integrierten Auflösungsverbesserungstechniken (RET-E), um wichtige Sub-Mikron-Lithographiefunktionen zu erreichen. Das Werkzeug umfasst eine High-End-Vakuum-Bearbeitungsstation und eine thermische Bearbeitungssteuerung sowie ein intuitives Mehrzonen-Bedienfeld. Dies ermöglicht eine präzise, wiederholbare und genaue Steuerung von Verarbeitungsparametern, was zu sehr ertragreichen Produkten mit überlegener Gleichmäßigkeit und Prozessergebnissen führt. FSI Saturn verfügt auch über einen großen aktiven Bereich und eine Vielzahl von Optionen für die Bearbeitung von Proben, um mehrere Ebenen der Verarbeitung unterzubringen. Das Asset ist so konzipiert, dass es schnelle Bild- und Bearbeitungsumdrehungszeiten mit einer Gesamtzeit von nur 1-2 Minuten liefert. Darüber hinaus verfügt es über ein integriertes Modell zur Überwachung, Protokollierung und Analyse von Daten, was zu erheblichen Kosteneinsparungen führt. Das Gerät wurde für niedrige Betriebskosten und einfache Bedienung konzipiert und bietet eine vollständige Palette von Lithographie-Optionen in einer kompakten Lösung. Saturn ist ein kostengünstiges, funktionsreiches Photoresist-System, das für fortschrittliche Lithographie-Verarbeitungsfunktionen entwickelt wurde. Es bietet hochgenaue und zuverlässige Bilderzeugungs- und Ätzergebnisse mit seiner proprietären digitalen Bilderfassungseinheit und erweiterten Auflösungsverbesserungstechniken. Mit seinen schnellen Verarbeitungszeiten und der integrierten Maschine zur Datenanalyse ist FSI Saturn eine ideale Lösung für High-End-Fertigungs- und Forschungsanwendungen.