Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9036933 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn ist eine Photoresist-Ausrüstung, die ein präzises und genaues Lithographieverfahren für die Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente mit hoher Dichte bereitstellt. Das Photolacksystem besteht aus einer Lichtquelle, einer Projektionsoptik und einer Prozesskammer. Die Lichtquelle liefert ultraviolettes Licht, um den Photolack über die Oberfläche des Wafers zu belichten. Die Projektionsoptik-Maschine projiziert das Bild des Musters auf den Wafer und ermöglicht eine präzise und genaue Platzierung von Strukturen. Die Prozesskammer bietet eine unter Druck stehende, professionelle lithographische Umgebung für den zu belichtenden Wafer. FSI Saturn Photoresist Tool ist in der Lage, tiefe ultraviolette (DUV) Strahlung Belichtung auf Geräten wie magnetische Random Access Memory (MRAM), statische Random Access Memory (SRAM), digitale Signalverarbeitung (DSP), Asset auf einem Chip (SoC), Das Modell kann Schaltungen auf Substratmaterialien wie Silizium, Germanium, piezoelektrischem Quarz und anderen ähnlichen Materialien belichten. Die Standardentwicklungsanwendung des Geräts besteht darin, minimale Funktionsgrößen von 0,14 um bis 0,6 um bereitzustellen und gleichzeitig eine gleichmäßige Auflösung über den gesamten Bereich des Belichtungsraums zu verwenden. Die Expositionsmethoden umfassen Top-Down-Einzelwafer-Exposition, Side-by-Side-Exposition und mehrere Maskenexpositionen. TEL Saturn Photoresist System ist auch in der Lage, ultrapräzise Muster Ausrichtung mit der Verwendung von On-Wafer Ausrichtung Marken, so dass die Genauigkeit bis zu 0,037 Mikrometer. TOKYO ELECTRON Saturn Photoresist Unit wurde entwickelt, um eine zuverlässige und einfache Plattform für die Entwicklung von Geräten im Mikromaßstab zu bieten. Die Maschine hat einen geringen Stromverbrauch und kann sowohl mit großen als auch mit kleinen Prozesskammern ausgestattet werden. Es verwendet eine langwellige UV-Quelle, um eine präzise Lithographie-Belichtung zu gewährleisten, und verwendet fortschrittliche Optik-Technologie für einen sauberen und einheitlichen Prozess. Das Werkzeug ist mit einer integrierten motorisierten Waferstufe ausgestattet, die eine präzise Steuerbarkeit und Genauigkeit bei der Ausrichtung des Schusses ermöglicht. Darüber hinaus ist Saturn Photoresist Asset mit einer interaktiven Touchscreen-Steuerschnittstelle konzipiert, die eine einfache Bedienung und Überwachung des lithografischen Prozesses ermöglicht. Insgesamt bietet das Photoresist-Modell FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn Anwendern eine zuverlässige, genaue und präzise Plattform für die Entwicklung von Geräten im Mikromaßstab. Die verschiedenen Belichtungsverfahren, die Kombination aus motorisierter Waferstufe und langwelliger UV-Quelle ermöglichen es dem Gerät, Merkmalsgrößen von 0,14 um bis 0,6 um mit gleichmäßiger Auflösung über den gesamten Belichtungsraum bereitzustellen. Seine leistungsstarken Software-Anpassungsfunktionen und die interaktive Touchscreen-Steuerungsschnittstelle machen das System zu einer einfachen und effektiven Lösung für verschiedene lithographische Prozesse.