Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9236451 zu verkaufen
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ID: 9236451
Wafergröße: 6"
Systems, 6"
(4) Cassettes
Does not include DI Water heater
Flow pickup
Canisters:
(2) Chemical canisters for system 1:
H2SO4
H202
HCL
(2) Chemical canisters for system 2:
H2SO4
H202
HCL
HF
NH4OH.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde, einschließlich Photolithographie, Messtechnik, optische und elektrische Kontaktbildgebung und Fehlerinspektion. Es bietet eine Reihe von Funktionen für eine Vielzahl von Anwendungen, von hochauflösenden Bildgebungsfunktionen bis hin zu fortschrittlichen Automatisierungs- und computergestützten Analysefunktionen. Das System basiert auf einem neuartigen optischen Layout mit einer variablen Spaltquelle/Detektoreinheit, mit der die Maschine Signale unterschiedlicher Größe und Form erkennen kann. Dieses optische Layout, kombiniert mit einem High-Speed-Imaging-Tool und einem automatisierten Wafer-Analyse-Asset, macht FSI Saturn zu einem leistungsstarken Werkzeug für hochpräzise Bildaufnahme und Charakterisierung. TEL Saturn ist ein 16-Bit-auflösendes digitales Bildgebungs- und Steuergerät, das mit verschiedenen Computerplattformen betrieben werden kann. Es bietet ein breites Sichtfeld (6 5x6,5 mm) für die Abbildung großer Objekte und Oberflächen und bietet eine Auflösung von bis zu 0,8 Mikrometern. Sein Variable-Gap-Source/Detektor-System ermöglicht eine optimale Bildklarheit und Genauigkeit in einer Vielzahl von physikalischen Umgebungen. Die Einheit ist auch in der Lage, bei automatisierten Inspektionen bis zu 16 Muster zu erkennen, einschließlich Halbleiterpyramiden und zylindrischen Strukturen. Im Zentrum der Maschine stehen die patentierten, fortschrittlichen Bildaufnahmetechniken, die eine bemerkenswert präzise Bildgebung und Signalanalyse ermöglichen. Saturn ist in der Lage, Wellenfrontverzerrung und Bildkontrast zu messen, indem er einen spezialisierten linearen Encoder verwendet, der ein hochauflösendes digitales Signal aus der Bildaufnahmehardware zusammen mit seiner patentierten Interferometer-Technologie zur Analyse der Oberflächentopologie liest. Diese Kombination von Merkmalen ermöglicht es dem Werkzeug, Fehler bis zu einer Breite von 0,5 µm zu erkennen und einzelne Strukturen in der Größenordnung von 200 µm dick mit bemerkenswerter Präzision zu messen. Die Automatisierungsanlage von TOKYO ELECTRON Saturn soll sicherstellen, dass alle Komponenten zusammenarbeiten, um qualitativ hochwertige Bilder kontinuierlich zu erzeugen. Das Modell umfasst intelligente Algorithmen für die Selbstkalibrierung, automatisierte Prozesssteuerung und vorausschauende Wartung und ist damit eine ideale Lösung für Präzisionssteuerungsanwendungen. Darüber hinaus umfasst das kundenspezifische Softwarepaket von FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn Tools für die interaktive und Batch-Modifikationsbildanalyse. Kurz gesagt, FSI Saturn Photoresist Ausrüstung stellt eine leistungsstarke Fähigkeit zur Aufnahme und Charakterisierung von Bildern von hoher Präzision. Seine Variable-Gap-Source/Detektor-System, schnelle Bildverarbeitungseinheit, automatisierte Wafer-Analyse-Maschine, und fortschrittliche Selbstkalibrierung und vorausschauende Wartung Fähigkeiten machen es zu einer idealen Plattform für viele fortschrittliche Fertigungsprozesse. Durch die präzise Charakterisierung der Oberflächentopologie und die Erkennung kleiner Defekte von TEL Saturn ist es für viele Branchen von unschätzbarem Wert, von der Halbleiterherstellung bis hin zu Druck- und Miniturisierungsprozessen.
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