Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9237266 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn ist eine Photoresist-Ausrüstung, die zur Herstellung und Entwicklung integrierter Schaltungen verwendet wird. Das System ist speziell für chemisch-mechanische Planarisierungsprozesse (CMP) konzipiert, die das chemische Ätzen und physikalisches Polieren von Substraten beinhalten. Diese Einheit wird verwendet, um die Leistung, Zuverlässigkeit und Ausbeute von Halbleiterbauelementen zu erhöhen. Die FSI Saturn Maschine besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Spin Coater, einer Entwicklungsstrecke und einem automatischen Wafer Metrology Tool (AWMS). Mit dem Spin Coater wird ein Photolackfilm auf Wafer aufgebracht. Die Entwicklungsstrecke ist für die Entwicklung des Fotolacks verantwortlich. Das AWMS bestimmt die Menge an Spin-Geschwindigkeit und -Zeit für den Spin Coater sowie die Temperatur und Zeit für die Entwicklungsstrecke, um eine optimale Leistung jedes Ätz- und Polierprozesses zu gewährleisten. TEL Saturn Asset ist in der Lage, verschiedene CMP-Prozesse durchzuführen, einschließlich physikalisches Polieren, chemisches Ätzen, Ätzen und Polieren, Backen und Hardbaking, Spincoating und Waschen. Alle diese Prozesse werden mit der Software des Modells gesteuert. Durch die Optimierung der CMP-Prozessparameter wie Geschwindigkeit, Druck und Temperatur verbessert das Gerät die Leistung, Zuverlässigkeit und Ausbeute von Halbleiterbauelementen. Das System verfügt auch über eine Vielzahl von Post-Prozess-Funktionen, wie Kantenpassivierung, Masse Resist Etch und Seitenwand Bildübertragung. In Sachen Sicherheit erfüllt Saturn alle Anforderungen einer Photolackeinheit. Es ist mit mehreren Sicherheitssensoren ausgestattet, die mögliche Risiken erkennen und Betreiber jeder Gefahr alarmieren. Eine Not-Aus-Funktion ist ebenfalls enthalten, zusammen mit einer Bedienungsanleitung und einem Sicherheitshandbuch, um den Bedienern zu helfen, die Maschine zu verstehen und Sicherheitsverfahren zu befolgen. Abschließend ist TOKYO ELECTRON Saturn ein fortschrittliches Werkzeug zur Entwicklung und Herstellung integrierter Schaltungen. Es verfügt über optimierte CMP-Parameter sowie Postprozessfunktionen, um eine zuverlässige und qualitativ hochwertige Ausgabe zu gewährleisten. Die Anlage bietet zudem zahlreiche Sicherheitsmerkmale und ist damit eine sichere und effektive Lösung für die Entwicklung und Herstellung von Mikrochips.