Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #293748010 zu verkaufen

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN
ID: 293748010
Wet processing systems.
FSI TITAN ist eine von FSI International entwickelte Fotoresistausrüstung. Es wurde entwickelt, um hochauflösende und hochgenaue Lithographielösungen für die Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie bereitzustellen. TITAN-System verwendet eine einzigartige Methode der Photoaktivierung und eine proprietäre Software-Plattform, um Muster auf Substraten wie Silizium-Wafern zu erstellen. FSI TITAN-Einheit besteht aus mehreren Komponenten und Technologien, einschließlich einer hochgenauen Belichtungsmaschine, proprietäre Resist-Lösung und verwandte Chemie. Der Kern des Werkzeugs ist der elektronenempfindliche TITAN-Photoresist, ein lichtempfindliches Polymermaterial, das dazu ausgelegt ist, unterliegende Substrate selektiv Elektronen-, Ultraviolett- und Röntgenstrahlen auszusetzen. Das Photolackmaterial hat eine hohe Auflösung (bis zu 25 Nanometer) und eignet sich für Funktionen mit hohem Seitenverhältnis. FSI TITAN asset umfasst auch ein hochgenaues Belichtungsmodell, das eine Auflösung auf Nanometerebene bietet und sowohl einfache als auch komplexe Muster auf Substraten wie Siliziumwafern erzeugen kann. Das Gerät ist in der Lage, mit hohen Geschwindigkeiten zu arbeiten und eine breite Palette von Elektronen-, Röntgen- und Ultraviolettbelichtungsquellen zu Mustersubstraten zu verwenden. Das System verwendet auch proprietäre und intern entwickelte Softwareanwendungen, um die Einrichtung und Optimierung von Belichtungen zu unterstützen. Die TITAN-Einheit ist für die Produktion im industriellen Maßstab konzipiert und kann komplexe Geometrien, Merkmale und Muster mit hohem Seitenverhältnis bis zu 25 Nanometern erzeugen. Es bietet eine überlegene Auflösung und Genauigkeit, was besonders wichtig für die Halbleiterherstellung ist. Es bietet auch erweiterte Lithographie-Fähigkeiten zur Herstellung von hochauflösenden Mustern auf einer breiten Palette von Halbleitersubstraten. Schließlich wird die Maschine durch proprietäre Software gesteuert, die die Einrichtung vereinfacht und eine effiziente Bedienung ermöglicht.
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