Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600195 zu verkaufen
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ID: 293600195
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Spray cleaning system, 12"
2007 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 Photoresist Equipment ist ein Resiststreifen-Gerät, das verwendet wird, um Halbleiter-ICs (integrierte Schaltungen) zu strukturieren, die bei der Herstellung von Computerchips verwendet werden. Das Gerät ist so konzipiert, dass es hochauflösende Funktionen mit einem minimalen Maß an Merkmalsverzerrung abstreift. Dies wird erreicht, indem dem auf Halbleitersubstraten verwendeten Photolack ein gleichmäßiges und konsistentes Resistprofil vorgelegt wird. Das System besteht aus einer Resiststreifenkammer mit einer Reihe von Resiststreifen. Unebene Resiststreifen entstehen durch sequentielles Bewegen der Resiststreifen und Aussetzen dieser einem Lichtstrahl in der Strahlformeinheit, wobei das Resiststreifenprofil gleichmäßig beabstandet modifiziert wird. Die Resiststreifenkammer enthält ferner eine Heizplatte, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung gewährleistet. Die Resiststreifenkammer ist aus Edelstahl gefertigt und enthält eine innere Heizplatte. Um das Resiststreifenprofil vor Verzerrungen zu schützen, ist die Heizplatte dazu ausgelegt, die Oberfläche der Resiststreifen gleichmäßig und sanft zu erwärmen. Darüber hinaus erhält die fortschrittliche Temperaturregelungstechnologie die gleichmäßige Temperaturverteilung des Resiststreifens. Die FSI Zeta 300 G3 Photoresist Unit ist mit einer Lichtbildungseinheit und einer Lichtdetektionseinheit ausgestattet. Die Lichtformungseinheit ist der Kern der TEL Zeta 300 G3 Photoresist Machine und wird zur Erstellung des Resiststreifenprofils verwendet. Der von der Lichtbildungseinheit erzeugte Laserlichtstrahl wird über die Breite der Resiststreifen verteilt, während eine Lichtdetektionseinheit die Änderungen des Resiststreifenprofils misst. Durch eine präzise Steuerung der Breite der Resiststreifen wird sichergestellt, dass das Resiststreifenprofil exakt erzeugt wird. Schließlich ist TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 Photoresist Tool mit einem Asset-Control-Panel ausgestattet, das eine präzise Kontrolle über die Betriebstemperatur und die Resiststreifenbreite ermöglicht. Darüber hinaus kann das Panel auch zur Überwachung des Status des Modells verwendet werden. Zeta 300 G3 Photoresist Equipment ist das ideale Werkzeug für die Herstellung von Präzisions-IC (Integrated Circuit) und ist die perfekte Lösung, um überlegene Resiststreifen-Profile für Halbleiter-ICs zu erzielen. Dieses System stellt nicht nur sicher, dass die Resiststreifen präzise und gleichmäßig beabstandet sind, sondern nutzt auch fortschrittliche Technologie, um das Resiststreifenprofil vor Verzerrungen zu schützen. Darüber hinaus kann mit seinem einfach zu bedienenden Bedienpult eine präzise Steuerung des Resiststreifenprofils erreicht werden. All diese Eigenschaften machen FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 Photoresist Machine zur perfekten Lösung für hochauflösende Resiststreifen-Muster.
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