Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9397351 zu verkaufen

ID: 9397351
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Spray cleaning system, 12" (2) Chemical canister consoles Titanium turntable style Type: Robot BROOKS AUTOMATION 2406-V2 Robot STAUBLI TX90XLSCRfsi2 Robot Does not include Hard Drive Disk (HDD) Process modules: Fluid Delivery Module (FDM) Process Module (PM) Material Handling Module (MHM) Multi Position (MP) Material Handling System (MHS) Canister console Power distribution cabinet Canisters: (3) H2O2 H2SO4 NH4OH HCL DHF Missing parts: Robot PC 2006 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 Photoresist Equipment ist ein hochmodernes automatisiertes Produktionswerkzeug, das die Herstellung von Halbleiterbauelementen erleichtert. FSI Zeta 300 G3 verfügt über einen hochauflösenden 10-Mikron-Stepper mit mehreren Ausrichtungsoptionen und ein mehrschichtiges Pellikelsystem für fortschrittliche Photolithographie. Die Photolackeinheit ist in der Lage, komplexe Muster schnell und mit großer Genauigkeit zu erzeugen. TEL Zeta 300 G3 ist mit einer hochpräzisen Objektivbaugruppe ausgestattet, die sich als Mikroskop und Ausgangsplattform verdoppelt. Auf diese Weise kann der Anwender den bearbeiteten Fotolack einfach ansehen und manipulieren. Die Maschine enthält auch eine automatisierte Kassette zum Kassettenübertragungswerkzeug, so dass Benutzer Schaltungen schnell und präzise laden und entladen können. Zeta 300 G3 bietet eine überlegene Auflösung, um Submikroneigenschaften in Nanometern zu erzeugen. Das Asset verwendet mehrere Wellenlängen- und Polarisationseinstellungen, um eine genaue Positionierung und Replikation von Resistmaskenmustern zu gewährleisten. Das Kammerinnere wird mit einer hohen Sauerstoffkontrolle für eine saubere und effiziente Resistverarbeitung gespült. Das fortschrittliche mehrschichtige Pellikel-Modell von TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 ermöglicht die gleichmäßige und genaue Abscheidung von Photolackschichten. Der interne Verschluss wird elektronisch gesteuert, was einen hohen Durchsatz und eine hohe Genauigkeit im Photolithographie-Prozess ermöglicht. Die Mustervorlagen können durch eine Auswahl von CAD-Software leicht in das Gerät importiert oder intern generiert werden. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 ist ein echtes Kraftpaket der Photolackverarbeitung. Seine fortschrittlichen Bildgebungs- und Ausrichtungssysteme bieten eine beispiellose Genauigkeit, während sein Pellikelsystem dafür sorgt, dass Resistschichten gleichmäßig abgeschieden werden. Das Gerät kann komplexe Muster mit höchster Genauigkeit schnell verarbeiten und ermöglicht so eine effiziente Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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