Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #293639153 zu verkaufen

ID: 293639153
Wafergröße: 12"
Spray cleaning system, 12".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 ist eine spezialisierte Photoresist-Ausrüstung für hochpräzise Lithographiearbeiten. Dieses System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Hauptsteuereinheit, einer Lichtquelle, einem Mikroskop, einer Kammer, einer Waferstufe und Waferträgern. Der Hauptcontroller enthält einen Computer zur Überwachung der Einheit sowie programmierbare Steuerelemente zur Einstellung der Parameter der Maschine. Die Lichtquelle ist ein UV-Licht, das den Photolack der richtigen Wellenlänge aussetzen soll, um ein Muster zu erzeugen. Das Mikroskop dient dazu, das Licht präzise auf den Fotolack zu fokussieren und kann für eine optimale Bildauflösung eingestellt werden. Die Kammer ist ein großer Behälter, um die Komponenten innerhalb unterzubringen und eine saubere, staubfreie Umgebung zu erhalten. Die Waferstufe dient dazu, das Werkstück während der Bearbeitung zu bewegen, und die Waferträger werden verwendet, um sicherzustellen, dass sich der Photolack in der optimalen Position innerhalb der Kammer befindet. Neben seinen Komponenten verfügt FSI Zeta 300 auch über mehrere Funktionen, um seine Leistung zu verbessern. Dazu gehören ein hochdichtes Projektionswerkzeug, eine Unterstützung für Nanoelektronenmikroskope und eine Echtzeitüberwachung des Geräts. TEL Zeta 300 bietet hochpräzise Lithographie mit einer minimalen Linienbreite von 0,2 µm und einer hohen Auflösung von 100 Nanometern. Es ist in der Lage, eine Ausrichtungsgenauigkeit von weniger als 0,02 µm und eine Fokustiefe von 0,6 µm beizubehalten, was wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse ermöglicht. Darüber hinaus ist es in der Lage, das Werkstück schnell zu bewegen und eine Scangeschwindigkeit von bis zu 25mm pro Sekunde zu erreichen. TOKYO ELECTRON Zeta 300 ist für den Einsatz in Kombination mit anderen Werkzeugen in einem Lithographieverfahren konzipiert, einschließlich einer Substratkassette, Reinigungsmodulen und Resistverarbeitungseinheiten. Alle diese Komponenten werden über eine einzige Benutzeroberfläche integriert, um einen effizienten und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, eine breite Palette von Photolackmaterialien zu handhaben, einschließlich Flüssigkeits- und Trockentyp. Insgesamt ist Zeta 300 eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die sich gut für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen eignet. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen und Komponenten, die es einfach zu bedienen, bei hoher Präzision und zuverlässige Ergebnisse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor