Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9140979 zu verkaufen

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ID: 9140979
Wafergröße: 12"
Spray cleaning systems, 12" Process: PLAD strip/ CLN 2009-2010 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 Photoresist Equipment ist ein hochpräzises Resist-Ätzsystem, das präzise Muster erzeugen kann, um komplizierte Photomasken zu erzeugen. Die Einheit ist mit einer fortschrittlichen Steuermaschine ausgestattet, die jeden Schritt des Ätzprozesses von der Probenvorbereitung bis zur endgültigen Anordnung der Maske steuern kann. Es verfügt über einen leistungsstarken Resiststreuer, der auftreffende Strahlen verwendet, um Photoresist gleichmäßig über die Oberfläche eines Substrats zu verteilen. Es verfügt auch über ein inkrementelles Belichtungssteuerungswerkzeug, das eine wiederholbare Belichtung des Substrats mit verschiedenen Lichtwellenlängen ermöglicht, um eine präzise Strukturierung zu gewährleisten. Das Asset verfügt außerdem über einen integrierten Bildanalysator, der Größe, Form und Grenze des auf dem Substrat geätzten Musters messen kann. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses zur Erzeugung präziser Muster für die fertigen Photomasken. Das Modell kann sowohl positiven als auch negativen Resist durch Verwendung eines Positivresistsprays bzw. eines Negativresistsprays ätzen. Darüber hinaus kann die Ausrüstung eine Vielzahl von Nachätzbehandlungen anwenden, wie Überziehen, Aschen und Backen, um den Lebenszyklus und die Stabilität des Substrats zu verbessern. FSI Zeta 300 Photoresist System ist aufgrund seiner hohen Präzision und Genauigkeit für den Einsatz in der Halbleiterindustrie konzipiert. Seine hervorragende Leistung und sein breites Leistungsspektrum machen es ideal für die Herstellung von Fotomasken mit genau definierten Merkmalen und Formen. Das Gerät hat auch einen hohen Durchsatz, der eine schnellere Herstellung von Photomasken ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die chemische Verträglichkeit eine breite Palette von Photolackmaterialien. Darüber hinaus ermöglicht seine benutzerfreundliche Oberfläche eine einfache Einrichtung und Bedienung der Maschine, und die hohe Automatisierung erleichtert es dem Bediener, wiederholbare hochpräzise Muster konsequent zu produzieren.
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