Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9149325 zu verkaufen

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ID: 9149325
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Spray cleaning system, 12" 2009 vintage.
FSI/TOYKO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 ist ein Photoresist-System, das sich auf die antireflektierende (AR) Beschichtung optischer Komponenten spezialisiert hat. FSI Zeta 300 wurde speziell entwickelt, um die Eigenschaften der AR-Schicht zu optimieren und die Sichtbarkeit der darunterliegenden Beschichtungen zu verringern. TEL Zeta 300 verwendet ein zweiteiliges Photoresist-Beschichtungsverfahren, bekannt als PR (Post-Exposure Resist), das ein spezielles Grundierverfahren sowie Resistbacken beinhaltet. Während des Grundierungsprozesses wird eine spezielle Form der chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet, um eine dünne Schicht aus kohlenstoffhaltigem Material zu erzeugen, die als Barriere für die Dampfmoleküle der Prozeßchemikalien wirkt. Dadurch wird eine optimale Gleichmäßigkeit der gewählten Beschichtung gewährleistet. Der Resistbackprozess folgt dem Grundieren und dient der Kontrolle der Dicken- und Hafteigenschaften der PR-Schicht. Bei diesem Verfahren wird ein Infrarotlaser mit einer Wellenlänge von 10,6 Mikron verwendet, wodurch sich das Resistmaterial erwärmt und über der optischen Oberfläche eine „Ätzmaske“ bildet. Dieser Schritt hilft, unerwünschte Effekte während des Beschichtungsprozesses zu vermeiden, die sich aus einer schlechten Haftung der PR-Schicht ergeben. TOKYO ELECTRON Zeta 300 enthält auch ein einzigartiges R & D-Merkmal (Reflexion und Diffusion), das die optische Leistung der PR-Schicht bewertet. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer, die Absorptionsstufen der ausgewählten Beschichtung anzupassen, wodurch optimale Lichtreflexions- und Diffusionsfähigkeiten gewährleistet werden. Schließlich ist Zeta 300 auch mit automatisierten Stereo-Lithographiesystemen ausgestattet, die eine präzise 3D-Abbildung der optischen Materialien ermöglichen. Diese Art der Bildgebung hilft, Oberflächenmängel zu identifizieren und zu korrigieren, die sonst die Leistung der AR-Beschichtung verändern könnten. Die Kombination dieser Merkmale zusammen mit der fortschrittlichen Präzision des Photoresist-Systems FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 macht es zu einer idealen Wahl für Anwendungen, bei denen Genauigkeit und Leistung der AR-Schicht unerlässlich sind.
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