Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9158152 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 ist eine Hochleistungs-Photolackausrüstung, die Substrate in einer einzigen integrierten Plattform ätzen, entwickeln und drucken kann. Das System verfügt über eine erweiterte Ätzrate und Genauigkeit sowie eine hervorragende Kompatibilität mit den fortschrittlichsten Fotolackmaterialien von heute. FSI Zeta 300 integriert hocheffiziente FSI- und TEL-UV-Quellen mit Hochgeschwindigkeits-Muster- und Bildgebungsfunktionen. Die Einheit kann Substrate bis zu 200mm in der Größe handhaben und bietet schnellen Probenzugriff, Strukturierung mit hoher Dichte bei hohem Durchsatz. TEL Zeta 300 bietet eine Vielzahl von Ätzoptionen mit einstellbarer Bestrahlung, Gleichmäßigkeit der Beleuchtung und erweiterten Trimm-Ätzfunktionen. Die integrierte UV-Quelle kann schnelle, qualitativ hochwertige Ätzraten sowie eine effiziente Strukturierung liefern. Die Maschine ist auch mit leistungsstarken Automatisierungsfunktionen ausgestattet, einschließlich programmierbarer Belichtungsparameter, Mustermasken und automatischer Substrathandhabung. Das Tool verfügt auch über erweiterte ultrafeine Steuerungsfunktionen, die eine präzise Anpassung der Ätzraten, über Sauberkeit und Restrestverhältnis ermöglichen. Dies geschieht durch eine Kombination von Merkmalen wie direkte Steuerung von Belichtungsparametern, einstellbare Beleuchtungsgleichförmigkeit und echte hochpräzise, verzerrungsarme Strukturierung und Bildgebung. TOKYO ELECTRON Zeta 300 bietet hervorragende Kompatibilität mit Photolackmaterialien, wie sie in Halbleiter-, MEM- und Hochfrequenzbauelementen verwendet werden. Zudem sichert das Asset mit seiner automatisierten Prozesssteuerung ein hohes Maß an Zuverlässigkeit. Das Modell ist auf Zuverlässigkeit ausgelegt und bietet Warm-/Kaltreinigungszyklen, automatische Substratoberflächencharakterisierung und Substratschutzfunktionen. Zeta 300 verfügt zudem über Energiesparfunktionen, was die Prozesskosten senkt und gleichzeitig immer strengere Umweltvorschriften erfüllt. Die Ausrüstung schont nicht nur Ressourcen, sondern reduziert auch die Exposition der Arbeiter gegenüber Gefahrstoffen. Das System bietet auch erweiterte Datenabrechnung und Aufzeichnung für die Überwachung des Prozesses. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 ist eine hochmoderne Photoresist-Einheit mit überlegener Ätzgenauigkeit, schnellem Probenzugriff, hoher Dichte bei hohem Durchsatz und fortschrittlichen ultrafeinen Kontrollen. Die Maschine eignet sich hervorragend für Halbleiter-, MEM- und Hochfrequenzgeräte. Das Tool sorgt auch für Energieeinsparungen, Arbeitnehmersicherheit, Prozesskostensenkung und Prozessüberwachung.