Gebraucht HEADWAY EC 101 #114660 zu verkaufen

ID: 114660
Photoresist coater 5" Diameter bowl Adjustable speed and acceleration.
HEADWAY EC 101 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist eine Art Spin-Beschichtungssystem, das eine lichtempfindliche Chemikalie mit einer Drehung von bis zu 300 U/min enthält, so dass es auf die Oberfläche von Wafern mit einer gleichmäßigen Dicke aufgebracht werden kann. Diese Einheit kann verwendet werden, um die richtige Schaltung auf Chips und andere Komponenten für die Herstellung zu strukturieren. HEADWAY EC101 ist eine einseitige Maschine mit einer Spenderstation zum Be- und Nachladen, einem Spin-Coating-Modul und einer Backstation nach der Belichtung. Dieses Werkzeug wurde entwickelt, um mit minimalem Eingriff des Bedieners leicht gewartet zu werden und verfügt über eine genaue Strömungssteuerung, eine geringe Strahlenbelastung und eine hohe Ausbeute. Das Spin-Coating-Verfahren wird durch ein Dual-Düsen-Asset-Design weiter verbessert, das eine unabhängige Kontrolle über die Spin-Coating-Zeit ermöglicht und für hochwertige Wafer-Musterergebnisse unerlässlich ist. Dieses Modell enthält auch eine integrierte Spin-Spül- und Blow-off-Ausrüstung, die Restflüssigkeit auf Wafern reduziert und Kontaminationen entfernt, die dazu beitragen, die Chancen von Chaos und Qualitätsproblemen zu reduzieren. Darüber hinaus trägt eine integrierte gasunterstützte Backstation zur Verbesserung der Klarheit und Qualität der auf dem Wafer erzeugten Muster bei. EC 101 ist so konzipiert, dass es mit bestehenden einseitigen Photolacksystemen kompatibel ist und eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen aufweist, darunter über Vakuumschutz und Kühlmittelverlusterkennung. Es ist auch für Ergonomie und Benutzerfreundlichkeit konzipiert, um sicherzustellen, dass das System mit minimalen menschlichen Störungen arbeiten kann. Die Einheit ist für den Einsatz in kleinen und großen Halbleiterherstellung konzipiert, so dass es eine gute Wahl für jede Art von Chip-Produktion.
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