Gebraucht HITACHI PR stripping system #293670389 zu verkaufen

HITACHI PR Stripping Equipment ist ein Photoresist Removal System, das proprietäre Technologien von HITACHI High-Technologies Corporation verwendet. Das Gerät ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiter- und Dünnschicht-Bauelementfab-Prozessen ausgelegt. Die Maschine eignet sich auch für den Einsatz mit dielektrischen Schichten, Photoresists und anderen organischen Rückständen. Das Werkzeug ist sehr zuverlässig und kann Photolack schnell und effizient streifen. Es verwendet eine Kombination aus Infrarot (IR) Licht, UV-Licht und trockener Hitze. Die Kombination der drei Komponenten ermöglicht sowohl warmes als auch kaltes trockenes Strippen. Das Asset nutzt Infrarot-Technologie, die lokalisierte, kontrollierte Energie liefert und die Schicht des Photolacks genau erkennt. Die UV-Komponente verbessert den Ätzprozess durch berührungslose chemische Aktivierung des Photolacks und ermöglicht präzises Strippen. Die Heizung kann verwendet werden, um Heißabstrippen von Photolacken und dielektrischen Schichten zu ermöglichen. Das Modell basiert auf optimierten Parametern zur Verbesserung der Strippqualität und zeichnet sich durch seine geringe Wafer-zu-Wafer-Variation aus. Es wurde entwickelt, um die Partikel- und Fehlerbildung zu minimieren und gleichzeitig einen hohen Durchsatz zu erreichen. Das Gerät umfasst „dreidimensionale“ Heizmöglichkeiten mit einer Oszillation der inneren und äußeren Heizelemente, um eine gleichmäßige Verteilung der Wärme zu gewährleisten. Dadurch wird eine gleichmäßige Bypassrate gewährleistet. Zusätzlich erhöht der spezielle Film, der zur Erhöhung der Lichtdurchlässigkeit auf die Probe aufgebracht wird, die Detektionsgenauigkeit der Infrarot- und UV-Komponenten. Das System ist mit einem Touchscreen-Interface ausgestattet, mit dem der Benutzer die Parameter des Prozesses überwachen, ändern und speichern kann. Es hat auch Temperaturregelung, Druckregelung und Schichtdickenüberwachung. Das Gerät kann für eine Vielzahl von Photoresist-Entfernungsprozessen eingesetzt werden, einschließlich Photolithographie, Litho-Ätzen und Trockenätzen. Es eignet sich auch für den Einsatz mit dielektrischen und organischen Rückständen. Die Maschine ist sehr zuverlässig und bietet schnelles und genaues Strippen, ohne auf Qualität oder Durchsatz zu verzichten.