Gebraucht IZOVAC AOC-M #9249484 zu verkaufen

IZOVAC AOC-M
Hersteller
IZOVAC
Modell
AOC-M
ID: 9249484
Optical coater Type: PECVD Drum.
IZOVAC AOC-M ist ein hochwertiges Fotoresistsystem, das speziell für das selektive Ätzen von mikroelektronischen Materialien entwickelt wurde. Es ist der Industriestandard für die Herstellung von Mikroschaltungen und eignet sich für eine Vielzahl von Verfahren wie Nassätzen, Abheben, chemisches Ätzen, Dampfätzen und Sputtern. Das System verwendet eine einzigartige lichtempfindliche organische Verbindung, die sowohl als Photoresist als auch als Ätzmaske dient. Diese Kombination ermöglicht eine präzise und gleichmäßige Strukturierung und Ätzung unter Vermeidung unerwünschter Rückstände auf der Waferoberfläche. AOC-M besteht aus zwei Komponenten: dem Foto widersteht und den Ätzmasken. Die Photolacsts werden auf das Substrat aufgebracht, bevor sie einer bestimmten Wellenlänge der Strahlung ausgesetzt werden. Die Strahlung bewirkt, dass das Foto verhärtet und zu einem trockenen Film wird. Dieser Trockenfilm wirkt als Maske, die den Zugriff des Ätzes auf die ungeschützten Bereiche des Substrats verhindert. Die Ätzmasken werden nach der Fotoresistschicht aufgebracht. Diese bestehen typischerweise aus einer organischen Verbindung, die auf die Ätzlösung reagiert und das Substrat vor negativen Ätzeffekten schützt. In einigen Fällen können die Ätzmasken auch den Ätzprozess fördern, die Zykluszeit reduzieren und den Durchsatz erhöhen. Sobald Photolack und Ätzmasken vorhanden sind, kann die Maske/das Substrat den spezifischen Ätzbedingungen unterworfen werden. Das Ätzmittel reagiert mit den ungeschützten Bereichen des Substrats, während Photoresist und Ätzmaske die gewünschten Bereiche schützen. Dieses gitterartige Muster aus Ätz- und Maske ergibt eine strukturierte Schaltungsschicht. Die Kombination aus Photoresist und Ätzmaske macht IZOVAC AOC-M zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von mikroelektronischen Fertigungsaufgaben wie Strukturierung, selektives Ätzen und Prozesssteuerung. Das System bietet eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit und eignet sich gut für Prozesse auf Geräte- oder Bauteilebene. Darüber hinaus eignet sich die Robustheit von AOC-M für eine breite Palette von Ätzchemikalien. Letztlich bietet IZOVAC AOC-M die anspruchsvolle Technologie, die für die moderne mikroelektronische Fertigung benötigt wird.
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