Gebraucht IZOVAC Aurora G5 #9395190 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9395190
Single side metal coater
Type: Vertical
Coating method: Sputter
Substrate: GaAs Wafer, (80) Substrates / Carriage
(2) Carriages
Membrane: (6) Metal layers
Tact time: 336 sec
Carrier moving speed: 0.245 m/min
Cathode distance: ≥1000 mm
Coating thickness: 120 mm ≤±5%
Auto loading / Unloading (Portal type robot, TBD)
Substrate uncoated area: <2 mm
RGA PC, protection valve, ports
Substrate size: Square with rounded edges
Maximum: 108.5 mm x 108.5±0.5 mm
Minimum: 106 mm x 106 mm
Corner radius: 4.5±0.5 mm
Edge exclusion: 2 mm around
Thickness range: 0.55 mm - 0.65 mm
Substrate coating area: 102 mm x 102 mm
Acceptable temperature: ≤250°C
Etching:
Ion beam source (Linear)
Remove 10 A - 50 A ≤±5% across each pallet
Magnetrons:
DC Planar magnetrons (MSS)
(11) DC Rotary magnetrons (CMSS)
Pumps:
Dry mechanical pumps
Turbo molecular pumps
Cryogenic pumps.
IZOVAC Aurora G5 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die zuverlässige, präzise Ergebnisse in einer Vielzahl von mikroskopischen Anwendungen liefert. Photoresist-Systeme werden verwendet, um hochpräzise, mikroskopische Strukturen auf einer Vielzahl von Oberflächen zu erzeugen, einschließlich Glas, Silizium und anderen Materialien. Das verbesserte Design des Aurora G5 Systems ermöglicht eine höhere Präzision als Standard-Photolacksysteme. Die Einheit ist in der Lage, Merkmale zu produzieren, die scharfe Ecken haben, und die Winkel der erzeugten Merkmale können innerhalb von Minuten nach dem Bogen genau gesteuert werden. Der Funktionsgrößenbereich des IZOVAC Aurora G5 kann von einem Mikron bis zu 40 Mikrometer eingestellt werden. Mit seinem fortschrittlichen Softwarepaket kann es Muster mit komplexen Formen, wie Kreise, Spiralen und Sterne, auch in drei Dimensionen produzieren. Die Maschine Aurora G5 ist hochautomatisiert und ermöglicht eine effiziente, unbeaufsichtigte Produktion. Das vorprogrammierbare Werkzeug erzeugt sehr detaillierte und wiederholbare Muster, und Funktionen wie Blendschutz und Strahlüberwachungskalibrierung sorgen dafür, dass die Photomaske stabil bleibt und das gelieferte Licht wie erwartet ist. Das G5-Asset verfügt zudem über eine verbesserte UV-Quelle, die sowohl heller als auch präziser ist. Dies ermöglicht eine schnellere und genauere Belichtung des Photolacks, so dass bei herkömmlichen Photolacksystemen keine Mikromuster erzeugt werden können. Die UV-Belichtungsquelle kann angepasst werden, um eine noch gleichmäßigere Abdeckung zu erzeugen, wodurch noch kompliziertere Merkmale entwickelt werden können. IZOVAC Aurora G5 ist auch mit einem fortschrittlichen bildgebenden Modell ausgestattet. Dies ermöglicht eine schnelle Inspektion und Auswertung der vom Fotolack erzeugten Merkmale. Insgesamt ist die Aurora G5 Photoresist-Ausrüstung für Geschwindigkeit und Präzision optimiert und hochautomatisiert und benutzerfreundlich. Es liefert präzise, wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von mikroskopischen Anwendungen und ist ein zuverlässiges Werkzeug für komplizierte Muster mit scharfen Ecken und hoher Funktionsdichte.
Es liegen noch keine Bewertungen vor