Gebraucht IZOVAC Heliosiz #9395189 zu verkaufen
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ID: 9395189
PEVCD Coater
Type: Lying down
Substrate: Silicon wafer
Membrane: a-Si:H, doped a-Si:H, SixNy:H
Substrate size: 156.75 mm x 156.75±0.25 mm
Deposition rates: 0.1 - 5 nm/sec
Coating technology: (2) CCPs
Double sided coating
Coating thickness: ≤±3% (Single layer)
Dry mechanical pumps
Process temperature: Up to 250°C
Manual loading / Unloading
Acceptance test: TBD
Chamber pressure:
Ultimate pressure: 1.1 Pa
Working pressure: 100 Pa - 1000 Pa.
IZOVAC Heliosiz ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die extrem präzise, konsistente und wiederholbare Mikrobeschichtungsergebnisse liefert. Es bietet einen streng kontrollierten Prozess, der die Genauigkeit und Reproduzierbarkeit komplexer Beschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten erhöht. Das System kombiniert die vollautomatische Steuerung aller Beschichtungsparameter mit integrierter Messtechnik und ermöglicht eine schnelle Prozessrückmeldung und Optimierung. Das Verfahren beginnt mit der Bildung einer Resistschicht auf dem Substrat mittels Elektronenstrahl (EB) oder Deep-UV (DUV) -Lichtbelichtung. Die belichtete Resistschicht wird dann mit einer gepufferten wäßrigen Entwicklungslösung entwickelt, um das gewünschte Oberflächenmuster aufzudecken. Eine Reihe von Back- und Backoptionen nach der Entwicklung sorgen für eine optimale Filmbildung. Die automatisierte Software-Steuereinheit ermöglicht die einfache Einstellung von Substratheiz-, Belichtungs- und Verarbeitungsparametern. Es bietet auch ausgezeichnete Datenintegrität und Rückverfolgbarkeit während des gesamten Prozesses. Um die Gleichmäßigkeit zwischen den Chargen sicherzustellen, umfasst die Maschine die automatische Probenahme und automatisierte Abstimmung aller Prozessparameter. Heliosiz verwendet eine spezialisierte Lumenlinientechnologie zur präzisen Positionierung des Belichtungskopfes, um die Möglichkeit von Überlappungen in Resistschichten zu reduzieren. Die genauen Belichtungs- und Belichtungszeiten können geändert werden, um eine Vielzahl von Herausforderungen wie hohe Staubverunreinigungen zu berücksichtigen. Es bietet auch nach der Exposition Backen, wenn erforderlich, zu verhindern, Überbelichtung von empfindlicheren Resistschichten. IZOVAC Heliosiz verwendet eine spezielle Farbstoffbeschichtung, um eine Vielzahl von Beschichtungen für das Gerät bereitzustellen. Diese Funktion kann verwendet werden, um empfindliche Merkmale zu schützen, die Haftung von Resistmaterialien zu verbessern und die Abscheidung empfindlicher aktiver Materialien zu erleichtern. Die ultimative Leistung einer vom Werkzeug durchgeführten Beschichtung kann mit geeigneten messtechnischen Werkzeugen bewertet werden. Heliosiz ist ein vielseitiges, leistungsstarkes und präzises Photoresist-Asset, das sehr wiederholbare Beschichtungsergebnisse für eine breite Palette von Substraten liefert. Die automatisierte Prozesssteuerung und Prozessoptimierung ermöglicht eine enge Kontrolle aller Prozessparameter und die Messtechnik ermöglicht eine schnelle Anpassung an das Feedback des Modells. Dies bildet die Grundlage für einen konsequenten Prozess, der sich in der Produktionsumgebung bewährt hat.
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