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JAESUNG ENGINEERING JS2D Photoresist Equipment ist eine hochentwickelte Lithographieanwendung, die präzise mikro- und nanoskalige Merkmale auf verschiedenen Oberflächen herstellt. Dieses System verwendet eine hochpräzise maskenlose Lithographie (MLL) -Technologie, die für die Abbildung von mehr als einer Lichtwelle als nur einer wie bei herkömmlichen Lithographiesystemen konzipiert ist. Die Hauptkomponenten JS2D Einheit sind sein maskenloser Lithographiegenerator, Photomasken-Editor, Controller, Musterkopf und optische Komponenten. Der Photomasken-Editor verarbeitet das Bildmuster mit verschiedenen Algorithmen, so dass der Benutzer Parameter anpassen kann, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen. Der Controller sendet dann das Muster an den Musterkopf, der die Photolackschicht auf die Probe aufbringt. Dies geschieht mit hoher Präzision und Genauigkeit, so dass der Benutzer sehr kleine Funktionen zu erreichen. Die optischen Komponenten dienen dazu, das Licht zu fokussieren und auf die Probenoberfläche zu übertragen. Bei der Bildgebung verwendet JAESUNG ENGINEERING JS2D Maschine einen Excimerlaser, der einen einzigen Impuls oder mehrere Impulse von Licht erzeugen kann, die einzeln gesteuert werden können. Das Werkzeug ist sehr flexibel und bietet dem Anwender die Möglichkeit, die Beleuchtung der Probe präzise und präzise zu steuern, so dass die Eigenschaften bei 2 Mikrometer Größe so klein sind. Die Anlage ist in der Lage, eine sehr breite Palette von Mustermerkmalen und Photolackschichten zu produzieren. Dazu gehören Kontaktlöcher, Seitenwandschutzschichten, Gold- oder Aluminiumbeschichtungsschichten, Dünnschichtpassivierungsschichten und andere fortschrittliche Mustertechniken. Die Photolackeigenschaften können auch für eine Vielzahl von Anwendungen wie Widerstands-, Konform- und Metallisierungsschichten eingestellt werden. JS2D Modell ist äußerst präzise und zuverlässig und bietet über lange Produktionszeiten hervorragende Eigenschaften. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Merkmale herzustellen, die die Kosten für die Herstellung kleiner Bauteile erheblich senken können. Darüber hinaus ist es sehr flexibel und ermöglicht die Herstellung einer Vielzahl von Mustermerkmalen auf einer Vielzahl von Oberflächenmaterialien. Damit ist JAESUNG ENGINEERING JS2D eine ideale Wahl für eine Reihe von Photoresist-Anwendungen.
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