Gebraucht JEOL 5000 #9281572 zu verkaufen

JEOL 5000
Hersteller
JEOL
Modell
5000
ID: 9281572
Sputtering system.
JEOL 5000 ist eine Art Photolackausrüstung, die bei der Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen verwendet wird. Es ist ein hochauflösendes, hochgenaues maskenloses Lithographiesystem, mit dem Muster in dünne Filme aus verschiedenen Photoresistmaterialien wie Polymethylmethacrylat, Siliziumdioxid und Polysilizium geätzt werden. Mit dem Gerät lassen sich verschiedene Scheibengrößen von 200 mm bis 450 mm Durchmesser erzeugen. Der primäre Zweck der 5000 Photolackmaschine ist es, Muster in Halbleiterdünnschichten zu ätzen. Dazu verwendet das Werkzeug einen fokussierten Lichtstrahl, der von der Computersoftware moduliert wird, um vorprogrammierte Muster auf Fotolackmaterial zu zeichnen. Um Mustergenauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist die Maschine mit einer 11-achsigen, motorisierten Stufe ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Strahlbahn und Position ermöglicht. Für Auflösungen können zwei unabhängig voneinander betriebene Objektive verwendet werden. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von Beleuchtungsmustern und Rechenwerkzeugen ausgestattet, einschließlich fortschrittlicher Farbtrennungsalgorithmen, um sicherzustellen, dass das gewünschte Muster während des Ätzprozesses genau gedruckt wird. JEOL 5000 hat auch spezielle Funktionen für metallische oder magnetische Dünnschichtmuster, komplett mit Ausrichtungs- und Prüffunktionen. Es ist auch in der Lage, mehrere Schichten von Mustern und Funktionen zu steuern. 5000 fungiert auch als hochpräzises Lithographiewerkzeug für mikroelektronische Gerätestrukturen. Es ist mit einem Maskenausrichtungsmodell und einer Maskenladeausrüstung ausgestattet, so dass Mustertransfers innerhalb von Sekunden abgeschlossen werden können. Das System ist auch in der Lage, mit einem Bereich von Substrattemperaturen von 80 ° C bis 450 ° C zu arbeiten und verfügt über ein leistungsstarkes Backprogramm, um genaue Temperaturen von niedrig bis hoch zu gewährleisten. JEOL 5000 ist eine effiziente, zuverlässige und hochgenaue Photolackeinheit für die Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen. Seine Mikroverarbeitungs- und Ausrichtungsmöglichkeiten in Kombination mit seiner motorisierten Stufe ermöglichen es der Maschine, Präzision und Zuverlässigkeit zu erzielen. Es wird bei der Herstellung einer Vielzahl von integrierten Schaltungskomponenten, von Speichern bis zu Prozessoren, verwendet und kann bei der Herstellung einer Reihe von verschiedenen Größen und Verpackungsformaten verwendet werden.
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