Gebraucht KAIJO RT-844A #9134688 zu verkaufen

KAIJO RT-844A Photoresist Equipment ist ein präzises, automatisiertes System zur Beschichtung von Photoresist auf Halbleitersubstraten. Das Gerät eignet sich für den Einsatz mit einer Vielzahl von Photolack. Es eignet sich für Anwendungen wie Photolithographie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen, Mustertransfer und dielektrische Abscheidung. Die Maschine besteht aus einer vierstufigen Kammer, einem Spin Coater, zwei Spin Stacks und einem Transportwerkzeug. Die erste Stufe der Kammer, die Vorverarbeitungsstufe, ist mit einem Verstellmechanismus ausgestattet, der es dem Fotolack ermöglicht, Qualitätsergebnisse zu maximieren. Es enthält auch eine Belüftungsanlage, um den statischen Aufbau zu reduzieren. Die zweite Stufe ist die Photoresist-Beschichtungskammer. Diese Kammer hat einen Spin Coater, zwei Spin Stacks und eine Turbopumpe. Der Spin Coater steuert den Winkel und die Geschwindigkeit des Spins und kann für eine Vielzahl von Photolackformeln leicht eingestellt werden. Die beiden Spin-Stacks unterstützen zwei Spin-Coater gleichzeitig, wodurch die Zykluszeit sinkt und der Durchsatz steigt. Eine Turbopumpe evakuiert die Kammer sofort, so dass die Beschichtung gleichmäßig und gleichmäßig bleibt. Die dritte Stufe ist die Belichtungskammer. Das Modell verfügt über ein hochauflösendes Display, das eine präzise Anpassung der Belichtungen ermöglicht. Es verfügt außerdem über einen Strahlprofilmonitor, der sicherstellt, dass der gewünschte Belichtungspegel erreicht wird. Die Belichtungskammer verfügt außerdem über einen Multimuster-Maskenausrichter, der eine schnelle und präzise Ausrichtung ermöglicht. Die vierte Stufe ist die Nachbelichtungskammer. Diese Kammer wird verwendet, um den Photolack zu erwärmen, um sicherzustellen, dass er seine optimalen Eigenschaften erreicht. Eine temperaturgeregelte Heizung sorgt dafür, dass der Photolack auf das gewünschte Niveau erwärmt wird. Das Gerät hat auch einen Timer zu steuern, wie lange der Fotolack gebacken werden, so dass genaue und konsistente Ergebnisse. Insgesamt ist RT-844A Photolacksystem eine zuverlässige, präzise Einheit, die für eine Vielzahl von Photolackanwendungen eingesetzt werden kann. Mit ihrer vierstufigen Kammer, Spin Coater, zwei Spin Stacks und Belichtungskammer liefert die Maschine hervorragende und konsistente Ergebnisse. Es ist ideal für die Verwendung in der Photolithographie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen, Mustertransfer und dielektrische Abscheidung.