Gebraucht KAIJO SRT-300 #9127768 zu verkaufen

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KAIJO SRT-300
Verkauft
Hersteller
KAIJO
Modell
SRT-300
ID: 9127768
Wafergröße: 12"'
Weinlese: 2006
WET, 12", 2006 vintage.
KAIJO SRT-300 ist eine Photolackausrüstung, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist für den Einsatz in einer photolithographischen Umgebung konzipiert. Es ist in der Lage, präzise und sehr detaillierte Musterentwürfe auf einem bestimmten Substrat zu erstellen. Das Photolacksystem wird verwendet, um Halbleiter, Speicherchips und andere wichtige Komponenten der Elektronik zu erzeugen. SRT-300 Photoresist-Einheit verwendet eine fokussierte, gerichtete optische Energiequelle, um präzise Ätzeffekte auf das zu verarbeitende Substrat zu erzeugen. Die Maschine kann eine Vielzahl verschiedener Ätzquellen wie KrF Excimer Laser, I-line, sowie andere hochenergetische ultraviolette Lichtquellen verwenden. Es kann auch Musterdaten speichern, mit denen komplexe, detaillierte Designs auf jedem Substrat geätzt oder lithographiert werden können. KAIJO SRT-300 verwendet einen Maskenausrichtungsprozess, um Musterdaten auf jedes Substrat genau anzuwenden. Es bietet eine hohe Ausrichtungsgenauigkeit und einen hohen Durchsatz, so dass schnell kundenspezifische Substrate mit einer hohen Präzision erstellt werden können. SRT-300 Prozess ermöglicht auch eine genaue Resistprofilsteuerung sowie Prozesssteuerung und Prognose, um die Präzision des Ätzprozesses wirklich zu steigern. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine wiederholbare Wafer-zu-Wafer-Ausrichtung und eine hervorragende Overlay-Registrierung, um eine optimale Substratleistung zu gewährleisten. KAIJO SRT-300 verfügt auch über integrierte Sicherheitsfunktionen, die zum Schutz des Prozesses und seiner Betreiber beitragen. Es beinhaltet Funktionen wie: einen automatischen Nullmechanismus, der die Ausrichtgenauigkeit überprüft, eine Spülstation für die einfache Entsorgung von überschüssigen Rückständen, einen Doppelstufen-Filter, um kleine Schadstofffragmente aus der Prozesskammer zu halten, sowie Silts-Schutz und gesunde Menschenverstand basierte sichere Operationen, die die erwartete Ausgangsqualität weiter schützen. Insgesamt bietet SRT-300 modernste Technologie für Photolacksysteme im Halbleiterherstellungsprozess. Es bietet eine hochpräzise Ätzung, die zu einer optimalen Wafer- und Substratqualität führt. Die Anlage bietet auch Schutz- und Sicherheitsfunktionen, um sicherzustellen, dass der Ätzprozess genau und ohne unerwünschte Ergebnisse durchgeführt wird.
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