Gebraucht KARL SUSS ACS 200 Plus #9300428 zu verkaufen

KARL RUß ACS 200 Plus ist eine automatisierte Photolackverarbeitungsanlage. Es ist ein robustes System, mit dem chemische und mechanische Abhebungen von Dünnschichtmaterialien wie Photoresists, Metallen und Dielektrika verarbeitet werden. Diese Photolackeinheit verfügt über ein optimiertes Design für zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse mit einer einfachen, benutzerfreundlichen Bedienung. Diese automatisierte Maschine kann bis zu 12 Wafer gleichzeitig verarbeiten, wodurch eine gleichmäßige Schichtdicke und eine ausgezeichnete Linearität erreicht werden. Das Tool bietet eine fortschrittliche, präzise Prozesssteuerung mit wiederholbaren, prädiktiven Ergebnissen, die für kostengünstige photolithographische Prozesse entscheidend sind. Die Anlage verfügt über ein chemisches Managementmodell, das einen sicheren Betrieb durch die Erfassung chemischer Konzentrationen während des gesamten Prozesses gewährleistet. Dieses Gerät verfügt auch über eine automatische Toppingpumpe, die die Bearbeitungskammer mit sauberer Chemikalie mit einer genau kalibrierten Konzentration nachfüllt. ACS 200 Plus verfügt über die neueste Spültechnologie, die präzise und zuverlässige Spülspitzen sowie Spülsteuerung bietet. Es enthält auch einen erweiterten 6-Kanal-Spin-Controller zur Optimierung des Spin-Prozesses mit simultaner und unabhängiger Geschwindigkeitsregelung für jeden Kanal mit unterschiedlichen Beschleunigungs- und Verzögerungszeiten. Das Photoresist-System verfügt auch über erweiterte Programmierbarkeit, die eine präzise Optimierung von Rezepten mit benutzerdefinierten Beschleunigungen und Verzögerungen ermöglicht. Darüber hinaus kann die Steuerung auch Prozesse simulieren, bevor sie sich für die Wafer engagieren, wodurch eine optimale Leistung und Wiederholbarkeit gewährleistet ist. KARL RUß ACS 200 Plus ist eine äußerst zuverlässige und effiziente Photolackeinheit mit vielen innovativen Features. Es ermöglicht eine zuverlässige und wiederholbare lithographische Verarbeitung mit präziser Spin-Beschichtung, programmierbarem Chemiemanagement und fortschrittlicher Spülsteuerung. Die Maschine ist in der Lage, hochpräzise photolithographische Prozesse zu handhaben und ist ein unschätzbares Werkzeug für die hochmoderne Halbleiterherstellung.