Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9207173 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC ACS 200 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für verschiedene Anwendungen von der Herstellung von Dünnschichtvorrichtungen bis hin zur dicken Photoresist-Strukturierung entwickelt wurde. Dieses System nutzt einen Mikrometer-Standort und eine einzige vertikale Stufe, damit der Benutzer Substrate bis zu einer Größe von 8 Zoll effektiv verarbeiten kann. Der Einsatz einer 133 mm XY/Tilt Automotor Koordinateneinheit sorgt für genaue und zuverlässige Bewegungen beim Mustern. Weiterhin ermöglicht ein mit der Drehfähigkeit der Maschine gekoppeltes Spinnfutter ein gleichmäßiges Aufbringen von Photolack auf das Substrat. MICROTEC ACS200 umfasst mehrere Funktionen für optimierte Benutzerleistung. Das Werkzeug verfügt über eine kristalline Quarzprozesskammer, die eine engmaschige Kontrolle des Folienabscheidungsprozesses gewährleistet und die Gefahr von Kontaminationen mindert, die bei unverpackten Resist-Prozesssystemen typisch sind. Seine schwenkbare Tür besteht aus einem Vier-Bogen-Glas-Design, das die allgemeine Sicherheit sowie die Sichtbarkeit für den Benutzer erhöht. Darüber hinaus wird dieses Photoresist-Asset von einem leistungsstarken Controller gesteuert, der Zugriff auf eine Vielzahl von Musterprogramme bietet, die für eine einfache Anpassung an die Anforderungen des Benutzers vorinstalliert sind. KARL RUß ACS-200 kann für eine Vielzahl von Verarbeitungsanwendungen eingesetzt werden, darunter: negative, mittlere und positive Resistentwicklung; Vakuumabscheidung von Dünnschichtvorrichtungen; chemisches Trockenätzen; Aschenbearbeitung; und stapelbare Resistverfahren. Die katalogisierten Prozesse und Rezepte des Modells werden ebenfalls in den Controller geladen, wodurch die Zeitinvestition für die Koordinierung von Werkzeugen und Wafern entfällt. Darüber hinaus ist das gesamte Photolackaufbau mit robusten, alle Aluminium-Konstruktion Korrosion zu verhindern und ist entsprechend mit einer korrosionsbeständigen schwarzen Epoxidfarbe beschichtet. Schließlich ist KARL RUß/MICROTEC ACS200 eine zuverlässige Photolackausrüstung, die Anwendern eine Reihe von Präzisionsbearbeitungsfähigkeiten bietet. Die Mikrometerstufe und die einzelne vertikale Stufe bieten Genauigkeit für die Verarbeitung beliebiger Substrate, während der fortschrittliche Controller es Benutzern ermöglicht, auf eine Vielzahl von Programmen und Prozessen zuzugreifen. Das System wurde auch entwickelt, um Kontaminationsrisiken zu reduzieren und eine sichere und benutzerfreundliche Umgebung zu bieten.
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