Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9353323 zu verkaufen

ID: 9353323
Weinlese: 2001
Coater / Developer system, parts machine Missing parts: Robot Loadport Hot plate Chuck PC 2001 vintage.
KARL RUß/MICROTEC ACS 200 ist eine Photoresist-Beschichtungs- und Entwicklungsanlage für die Herstellung von Wafer-Level-Geräten. Das System ermöglicht das präzise Ätzen komplizierter Merkmale in die Oberfläche eines Wafers oder einer anderen Mikrostruktur, so dass es bei der Erstellung moderner mikroelektronischer und optoelektronischer Geräte verwendet werden kann. Die Einheit besteht aus drei Hauptteilen, einer Belichtungsstation, einer Beschichtungsstation und einer Spülstation. Die Maschine ist für direkte Beschichtung, Backen und Entwicklung Betrieb mit einer Vielzahl von Entwicklerlösungen konzipiert. Die Belichtungsstation verwendet ultraviolettes (UV) Licht, um den Photolack gleichmäßig auf die Waferoberfläche auszuhärten. Das UV-Licht wird durch ein Retikel auf den Wafer fokussiert und belichtet den Bereich, der geätzt werden muss. Die Lichtbelichtung wird über einen Personalcomputer programmiert und gesteuert und die Belichtung kann auf ein beliebiges Niveau eingestellt werden. Die Beschichtungsstation dient zum Aufbringen des Photolackmaterials auf die Waferoberfläche. Das Photolackmaterial befindet sich in einer Kartusche, die bei Bedarf in die Maschine eingebaut wird. Anschließend wird der Photolack in einem gleichmäßigen Film mittels Spin-Coating-Technik auf die Waferoberfläche aufgetragen. Die Spülstation wird verwendet, um überschüssiges Photolackmaterial von der Waferoberfläche zu entfernen. Der Wafer wird innerhalb der Spinnspülstation platziert, wo er in eine chemische Lösung wie einen MICROTEC D 810 Entwickler oder einen KARL RUß D 820 Entwickler eingetaucht wird. Diese Lösung mischt sich dann mit dem Photolackmaterial auf der Oberfläche des Wafers und löst überschüssiges Material auf. Sobald der Spülvorgang abgeschlossen ist, kann der Wafer entfernt und trocknen gelassen werden. MICROTEC ACS200 ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das komplexe mikronoskopische Merkmale schnell und präzise herstellen kann. Es wurde entwickelt, um zuverlässige und konsistente Leistung zu bieten, mit einer ganzen Reihe von Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, maximale Erträge aus seinen Geräten zu erzielen. Der Vermögenswert ist weit verbreitet in der Produktion von mikroelektronischen und optoelektronischen Geräten eingesetzt und ist ein wertvolles Werkzeug bei der Entwicklung und Herstellung von Spitzentechnologie.
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