Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9355505 zu verkaufen
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ID: 9355505
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist pumps
(6) Chillers
(4) Load ports
(2) Coater cups
(2) Developer cups
HMDS Module
(6) Hotplates
(3) Coolplates
(2) SANKYO SC5000 Robot controllers
Power rack
2013 vintage.
KARL RUß/MICROTEC ACS 200 ist eine weltweit bekannte Photoresist-Ausrüstung für die Lithographieforschung, Entwicklung und Produktion von Halbleiterbauelementen. Das System verfügt über einen Schrittmotor mit einem Hubbereich von 4,0 mm mit einer hohen Genauigkeit von 0,5 µm. Das Gerät ist außerdem mit einem 2-Axis Scherwerkzeug ausgestattet, das die Fertigungszeit und -kosten von Geräten reduziert. Die Maschine wurde entwickelt, um die Produktivität sowohl für Wafer- als auch für Maskenprozesse zu maximieren. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Substraten in verschiedenen Dicken und Größen zu unterstützen. MICROTEC ACS200 wurde entwickelt, um zahlreiche Parameter zu verfolgen, die Fotoprozessparameter auf Wafer- oder Maskenebene bestimmen. Es ist mit einem Wafer Chuck mit Piezo Autofokus ausgestattet, die Wafer Wiederholbarkeit gewährleistet. Das Werkzeug ist auch in der Lage, mehrere Belichtungsquellen zu unterstützen. Es verwendet eine LED oder Xenon Lichtquelle für die Belichtung, die auch Lichtintensitätsstabilisierung und ein variables Belichtungsband mit einer aktiven Bildgröße von bis zu 465mm ² aufweist. Darüber hinaus ist es mit automatischem Verschluss und einer Maskenstufe ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung des Layoutmusters auf Substrat- oder Maskenoberfläche gewährleistet. KARL RUß ACS-200 ist zudem mit einem integrierten, intuitiven, hochdurchsatzreichen Software-Controller ausgestattet, der eine benutzerfreundliche Bedienung ermöglicht. Die Steuerung ist in der Lage mehrstufige wiederholbare Belichtungen und Prozesse zu betreiben. So profitieren Anwender von flexiblen Steuerungs- und Datenanalysefunktionen. Darüber hinaus kann eine integrierte programmierbare Schnittstelle verwendet werden, um das Asset einfach an zusätzliche Prozessanforderungen anzupassen. Das Modell bietet auch eine hochwertige Umgebung, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Es wurde entwickelt, um Entspannung und Vibration während des Betriebs zu reduzieren, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Das Gerät hilft auch, Photolackerosion zu reduzieren, um die Lebensdauer des Geräts zu erhöhen. KARL RUß ACS 200 ist ein fortschrittliches Photolacksystem, das Anwendern eine nahtlose Lithographie ermöglicht. Es ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung des Layoutmusters auf die Substrat- oder Maskenoberfläche gewährleisten und effiziente Datenanalysefunktionen bieten. Darüber hinaus ist die intuitive Bedienung und Benutzeroberfläche einfach zu bedienen und an benutzerspezifische Anforderungen anzupassen. Das Gerät ist auch so konzipiert, dass es eine angenehme Umgebung bietet, die Vibrationen und Photoresist-Erosion reduziert, um die Lebensdauer der Geräte und die Produktausbeuten zu maximieren.
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