Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9213835 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC ACS 300
ID: 9213835
Wafergröße: 12"
Developers, 12".
KARL RUß/MICROTEC ACS 300 ist eine Photolackanlage, die komplizierte Muster in der Oberfläche von Halbleitermaterialien ätzen soll. Es handelt sich um eine Art „Direktbelichtungssystem“, d.h. die zu ätzenden Muster werden von außen direkt auf das Substrat ausgesetzt. Es ist weit verbreitet in der Mikrochip-Baugruppe und in der Schaltkreisforschung. Die Vorrichtung besteht aus einem optischen Mikroskop, einer Vakuumversorgungseinheit und einem Schrittmotor. Mit dem optischen Mikroskop wird ein Bild auf das Zielsubstrat projiziert und der Schrittmotor steuert die Ätztiefe und -genauigkeit. Die Vakuumversorgungsmaschine hält einen konstanten Druck auf das Substrat aufrecht, so dass die Ätzparameter möglichst genau gehalten werden. MICROTEC ACS 300 ist in der Lage, Substrate bis unter 90nm mit seiner speziell entwickelten Projektionslinse zu strukturieren. Es bietet auch ein automatisiertes Ausrichtwerkzeug, das die Genauigkeit der Musterpositionierung auf dem Substrat gewährleistet und es Benutzern ermöglicht, Position und Fokus ferneinzustellen. Der Belichtungswert bietet eine breite Palette von Substraten und Belichtungszeiten und kann sowohl für positive als auch negative Photoresists verwendet werden. Zusätzlich kann KARL RUß ACS 300 bis zu vier Substrate gleichzeitig verarbeiten, was einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Das Modell erzeugt eine hervorragende Bilddefinition mit einer maximalen Auflösung von 1 nm. Es kommt auch mit hervorragenden Sicherheitsmerkmalen, um die Exposition gegenüber gefährlichen Chemikalien zu verhindern. Das Gerät enthält eine automatische Abschaltfunktion, die die Produktion stoppt, wenn das chemische Niveau unter ein bestimmtes Niveau fällt, und eine Gasüberwachungsfunktion, die die Sicherheit während der Arbeit gewährleistet. Kurz gesagt, ACS 300 ist ein zuverlässiges, genaues und effizientes Photolacksystem, das komplizierte Muster in Halbleitermaterialien strukturiert. Es bietet eine breite Palette von Belichtungszeiten und Substratfunktionen sowie automatisierte Ausrichtung und hervorragende Sicherheitsmerkmale. Dies macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für Mikrochip-Montage, Forschung und andere ähnliche Projekte.
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