Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9384559 zu verkaufen

ID: 9384559
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
(4) Developer system, 12" 2007 vintage.
KARL RUß/MICROTEC ACS 300 ist eine Photolackanlage zur präzisen Herstellung mikroelektronischer Bauelemente. Es nutzt mehrere Belichtungs- und Ausrichtungsfunktionen, um eine zuverlässige Musterübertragung kleiner Funktionen zu ermöglichen. Das System besteht aus drei Komponenten: der Microstepping-Mikroprozessor-gesteuerten XY-Substratstufe, der Präzisions-X-Y-Z-Stufe und der automatisierten Belichtungs-/Entwicklungseinheit. Die Substratstufe bietet flexible Bewegungsinkremente und Geschwindigkeitseinstellungen für eine präzise Platzierung der Funktionen, während die sparsame X-Y-Z-Stufe eine zuverlässige optische Durchdringung ermöglicht, die für die kritische Ausrichtung erforderlich ist. Um kleine Strukturen von 30 µm oder besser zu strukturieren, verfügt MICROTEC ACS 300 über eine Submikron-Ausrichtungsfähigkeit mit einer integrierten digitalen Bildkameramaschine. KARL RUß ACS 300 bietet auch ein modulares Werkzeug zur Metallisierung von Substraten. Der Präzisionshubmechanismus seines Metallisierungsmoduls ermöglicht eine kleinere Positionierung von Substraten auf strukturierten Oberflächen und schützt Platten. Das Modul beinhaltet auch eine automatisierte Mikromaskenbeladung, ein chemisches Dampfabgabemodell und infrarotbasierte Heizgeräte. Das System kann auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse eingesetzt werden. Die Metalloxidätzung erfolgt über einstellbare Einstellungen für Ätzmittelbelichtungszeiten. Ebenso können mit automatisierten programmierbaren Optionen eine Vielzahl von Beschichtungsprozessen und Vorbedingungen konfiguriert werden. ACS 300 wurde entwickelt, um die Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle zu erleichtern. Die integrierten Mikroprozessorsteuerungen bieten Zugriff auf Kalibrier- und Verifikationsmodule sowie Wartungsdatensätze für Einheiten. Ebenso helfen Echtzeit-Prozesskontrolltechniken, konsistente Prozessergebnisse aufrechtzuerhalten. KARL RUß/MICROTEC ACS 300 ist eine fortschrittliche, automatisierte Fotolackmaschine. Es bietet zuverlässige, kleinformatige Musterübertragungs- und Beschichtungs-/Ätzfunktionen. Seine integrierten Mikroprozessorsteuerungen bieten zuverlässige Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen, während seine Kalibrier- und Verifikationsmodule eine automatisierte Messung und Verfolgung von Funktionen bieten.
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