Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #293745313 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC AltaSpray ist ein Hochleistungs-Photoresist-System zur direkten Strukturierung und Ätzung von Anlagen auf Halbleiterscheiben bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Es ermöglicht die Herstellung von kleineren Funktionsgrößen, höhere Geräteleistung und erhöhte Ausbeute. MICROTEC AltaSpray verwertet einen Hochleistungs-, Qualitätssprayüberzugprozess, um sich abzulagern, eine Schicht des Fotos widersetzen sich auf einer Silikonoblate vor der Aussetzung und dem Ätzen. Der Resist wird in einer gleichmäßigen und kontaminationsfreien Einzelbewegung auf den Wafer aufgebracht. Es wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Filmdicke mit einer genauen Beschichtungsabdeckung und Auflösung bereitzustellen. Der Aufsprühprozess ist deutlich schneller als andere Spin-Coating-Verfahren und reduziert das Verunreinigungs- und Bruchpotenzial. Nach Beendigung der Beschichtung wird der Wafer mit ultraviolettem Licht beaufschlagt, um das gewünschte Muster auf die Waferoberfläche abzudrucken. Das Belichtungsverfahren aktiviert eine photochemische Reaktion, um den Resist zu vernetzen und in eine weitgehend unlösliche Form zu überführen. Dieses dicke, unlösliche Material verbleibt als ätzfeste Beschichtung auf der Oberfläche der Vorrichtung. Die hohe Präzision von KARL RUß ALTA SPRAY sorgt für eine präzise Bildübertragung in reduzierter Auflösung auf das Substrat. Das belichtete Muster wird durch einen Chemie- und Ätzschritt weiterverarbeitet, der die nicht belichteten Bereiche entfernt und die Herstellung der gewünschten Merkmalsgröße und Gerätestruktur auf dem Wafer ermöglicht. Die Präzision von AltaSpray ermöglicht Funktionsgrößen von bis zu 0,35 μ m Größe. Zusätzlich kann der Resist auf Wafer bis 10 cm Durchmesser aufgebracht werden. KARL RUß AltaSpray Photolacksystem ist ein unglaublich vielseitiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und lässt sich problemlos in bestehende Produktionslinien integrieren.
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