Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9124419 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Delta 20T2/150VPO ist eine fortschrittliche Photolithographie/Photoresist-Ausrüstung zur hochauflösenden, präzisen Strukturierung von Halbleitersubstraten. Das System ist für fortschrittliche Funktionen wie Mehrfachüberlagerung und Ausrichtungsgenauigkeit bis zu 0,3 Mikrometer sowie eine hohe Durchsatzproduktion und eine längere Produktlebensdauer für eine kostengünstige Strukturierung von Halbleiterscheiben konzipiert. Das Gerät verfügt über eine integrierte hochstabile Waferstufe, die 5 „bis 8“ Substrate mit einer maximalen Geschwindigkeit von 3 cm/s unterstützt. Die Bühne wird auf luftverstärkten Schienen montiert und durch eine leichte Reisemontage unterstützt, um eine genaue und zuverlässige Substratbewegung zu gewährleisten. Ein Mehrkanal-Mikroprozessor-Controller überwacht unabhängig die Bühne und steuert die Position des Wafers mit Submikron-Präzision. Die Maschine ist auch mit variabler Beleuchtungsoptik und einem MicroStepper motorisierten Projektionswerkzeug ausgestattet, das eine präzise Projektion hochauflösender Muster auf die Substrate ermöglicht. Das Asset kann so konfiguriert werden, dass es positive oder negative Photoresists freilegt, und die High-Fidelity-Optik kann Muster mit hohen Seitenverhältnissen und Auflösungen bis in den Sub-Quarter-Micron-Bereich erzeugen. Darüber hinaus verfügt MICROTEC Delta 20T2/150VPO über eine numerisch kodierte automatische Fokussierbarkeit, um auch bei dickeren Substraten die höchsten Auflösungsmuster zu gewährleisten. Der Autofokus-Algorithmus bietet zudem eine hochgenaue und wiederholbare Fokuskonditionierung mit Schrittgrößen von weniger als 0,1 Mikrometern. Dies reduziert die Belichtungszeit und schont die Leistung und erhöht den Durchsatz. Das Modell bietet eine Vielzahl von Photolithographie- und Reinigungswerkzeugen, einschließlich Deep-UV- und Soft-UV-Lichtquellen, sowie eine Wafer-Kanteninspektionsanlage zur Erkennung und Meldung von Fehlern. Zusätzlich ist das System mit Lastschlössern für schnelles und ungehindertes Be- und Entladen von Substraten ausgestattet. KARL RUß DELTA 20T2/ 150VPO ist eine fortschrittliche Einheit, die mittels Photolithographie und Photoresist-Technologie hochwertige Präzisionsmuster auf Halbleitersubstraten herstellt. Das beeindruckende Spektrum an Merkmalen und Fähigkeiten sowie seine Wirtschaftlichkeit machen es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterherstellung und -forschung.