Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #107379 zu verkaufen

ID: 107379
Wafer mask cleaner Currently warehoused 2004 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Delta 36T ist ein Photoresist-Gerät, das zur Herstellung hochauflösender Submikronstrukturen auf Substraten verwendet wird. Dieses System ist mit mehreren Belichtungsfähigkeiten ausgestattet, die die Herstellung von sehr komplizierten Mustern auf Halbleitermikrochips ermöglichen. MICROTEC Delta 36T verfügt über eine fortschrittliche optische Einheit für eine verbesserte Lichtgleichförmigkeit über das Substrat und die Fähigkeit, mit einer breiten Palette von Photolackmaterialien zu arbeiten. KARL RUß Delta 36T verwendet eine fortschrittliche optische Projektionsmaschine, um eine überlegene lithografische Genauigkeit zu bieten, die eine genaue und ertragsstarke Produktion ermöglicht. Das Werkzeug verwendet eine Carl Zeiss f-Theta Linse, die eine numerische Apertur von 0,75 hat, die eine hohe Auflösung von bis zu 0,2 µm bietet. Darüber hinaus wurde Delta 36T entwickelt, um bis zu vier Belichtungen in einem Zyklus zu unterstützen, was ein hohes Seitenverhältnis und eine überlegene Tiefe der Fokuskonturen ermöglicht. KARL RUß/MICROTEC Delta 36T verfügt zudem über ein leistungsstarkes und intuitives Softwarepaket, das eine einfache Ausrichtung von Substrat und Muster auf dem Substrat ermöglicht. Die Funktion „Step & Repeat“ der Software ermöglicht die Erzeugung mehrerer konsistenter Bilder auf mehreren Substraten und die Funktion „Auto Align“ nimmt feine Anpassungen vor, um die Overlay-Genauigkeit zu verbessern. MICROTEC Delta 36T ist auch in der Lage, binäre sowie Graustufenbilder zu erzeugen. In Bezug auf Bildgenauigkeit und Gleichmäßigkeit zeichnet sich KARL RUß Delta 36T aus. Es ist mit einer intelligenten Messsoftware von ImageMASSter ausgestattet, die die Bildgebungsgenauigkeit gewährleistet und über einen zusätzlichen hochauflösenden Encoder verfügt, der eine verbesserte Fahrgenauigkeit bietet. Diese Ressource ist auch mit programmierbaren gesteuerten Prozessparametern für die Präzisionsrezeptverwaltung ausgestattet und verfügt über eine einfach zu bedienende Touchscreen-Schnittstelle für mehr Komfort und Effizienz. In Bezug auf die Sicherheit ist Delta 36T mit einer Vielzahl von Staubschutzschilden und Vakuumschutzschilden ausgestattet, die die Optik vor Staub oder Partikeln schützen, die beide die Lithographieausgabe beeinflussen. Das Modell ist auch mit einer ausgeklügelten proximalen Sichtausrüstung ausgestattet, die das Vorhandensein von Objekten in der Substratebene erkennt und ein hohes Maß an Bedienersicherheit gewährleistet. Abschließend ist KARL RUß/MICROTEC Delta 36T Photoresist-System eine gut konstruierte und hocheffiziente Einheit, die hochauflösende Submikronmuster mit beeindruckender Lithographie-Genauigkeit erzeugen kann. Diese Maschine bietet eine überlegene Beleuchtung und eine leistungsstarke, aber intuitive Software-Suite, um wiederholbare und effiziente Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet MICROTEC Delta 36T wichtige Sicherheitsmerkmale zum Schutz der Optik und Bediener.
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