Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293585694 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Delta 80 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die ein- bis dreischichtige Photoresist-Verarbeitung. Es nutzt eine programmierbare, zuverlässige und robuste Plattform, die extrem präzise und wiederholbare Ergebnisse unterstützt. Sie wird hauptsächlich in der mikroelektronischen und nanoelektronischen Industrie eingesetzt. MICROTEC Delta 80 verfügt über ein funktionsreiches Steuerungssystem, das auf eine Edelstahl-Vakuumkammer montiert ist. Es ermöglicht dem Benutzer, die Belichtungsparameter des Fotolackes wie Belichtungswinkel, Belichtungszeit und Intensität genau zu steuern. Es unterstützt auch ultra-high-matching von Resistschichten zwischen verschiedenen Substraten und Stufen. Das Gerät bietet eine hochwertige Oberflächengüte und eine einheitliche Funktionalität, um die Kompatibilität mit der Photolackverarbeitung zu gewährleisten. Die Vakuumkammer verwendet eine Hochdruck-PPT-Beschichtungstechnologie für eine verbesserte Plasmareinigung und -haftung, die die Vorbeschichtung eliminiert. KARL RUß Delta 80 verfügt über einen modularen Aufbau, der eine flexible Konfiguration für individuelle Bedürfnisse ermöglicht. Die Maschine kann mit zusätzlichen Modulen wie Spin-Coating-Technologie und Hard-Bake-Modulen aufgerüstet werden, um Anpassungen zu ermöglichen. Das Werkzeug unterstützt mehrere Materialien, von Resist zu Kupfer; von einzelnen Ebenen bis zur Mehrschicht-Ätztechnologie. Es hat wiederholbare Genauigkeit von 0,03 um mit Waferdicke von bis zu 300 um; und eine wiederholbare Schichtdicke von 0,001 nm mit einer Scheibengröße von bis zu 150 mm. Es kann auch mehrere Prozessschritte in einem einzigen Lauf unterstützen, wie optisches Drucken, Beschichtungsentwicklungsprozesse und Plasmabehandlung. Delta 80 bietet ein beispielloses Maß an Gleichmäßigkeit und einfache, einfache Kontrolle. Es verfügt auch über eines der breitesten Anwendungsprofile und bietet optimale Auswahl in der Fotolackverarbeitung mit höchster Qualität und Genauigkeit. Es gewährleistet wiederholbare Prozesssteuerung und überlegene Präzision für hohe Qualität kostengünstige Prozesse.