Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293651532 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 ist eine hohe Leistung, photowiderstehen Aussetzungsausrüstung, die hohe Intensität verwendet, widersteht ultraviolette leichte Aussetzung (UV), um photogestaltet zu erzeugen, Schichten auf vielfachen Materialien. Das System eignet sich gut für die Herstellung von hochauflösenden, hohen Aspektverhältnismikromerkmalen auf robusten Substratmaterialien wie Silizium, Galliumarsenid und Quarz. MICROTEC Delta 80 besteht aus einer Präzisions-Z-Achsen-Stufe, Gantry, Belichtungseinheit und Xenon-Lampen hoher Intensität. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine breite Palette von Belichtungsabschnitten aufnimmt, die von großaperturen Ansätzen bis hin zu herkömmlicher optischer Näherungsbelichtung reichen. Es bietet auch die Möglichkeit, eine Vielzahl von Resistverarbeitungsmodulen in die Maschine zu integrieren. KARL RUß Delta 80 Werkzeug bietet auch eine Vielzahl von vielseitigen Optionen wie XY-Achse Belichtung, programmierbare Belichtungszeit und Feinfokus-Steuerung. Auf diese Weise können Benutzer komplexe Mustergeometrien definieren und eine hochauflösende Belichtung mit minimaler KE-Verzerrung durchführen. Das Asset umfasst auch fortschrittliche Wafer-Handhabungsmechanismen zur Optimierung der Substrathandhabung und der Belichtungsgleichförmigkeit. Die umfangreichen Belichtungskontrollen des Modells unterstützen auch flexible Nachbelichtungsprozesse. Die Belichtungsbaugruppe verfügt über einen schnell austauschbaren Belichtungskopf, der schnell von einem Belichtungsplan zum anderen geändert werden kann. Darüber hinaus können die Geräte in fortschrittliche Wafer-Tracker für automatisierte Ausrichtung und Belichtung integriert werden, so dass ein schnelles Prototyping neuer Designs möglich ist. Um eine hohe Genauigkeit in belichteten Mustern und Merkmalen zu gewährleisten, verfügt Delta 80 auch über hochpräzise optische Näherungskorrektur (OPC) und Overlay-Optimierungsmöglichkeiten. Eine Kombination aus Lasermodulation und Anwendung von digitalen Signalprozessoren (DSPs) ermöglicht es Benutzern, Substrattopographie und unterschiedliche Geometrien belichteter Muster zu kompensieren. Durch die Kombination dieser Merkmale kann das KARL RUß/MICROTEC Delta 80 System verwendet werden, um hochauflösende Photolackmuster auf verschiedenen Materialien zu erzeugen, die hochgenau sind und minimale Merkmalsverzerrungen erfordern. Mit seiner schnellen Belichtungsgeschwindigkeit, der anpassungsfähigen Belichtungsbaugruppe und den OPC-Fähigkeiten ist MICROTEC Delta 80 eine ideale Einheit sowohl für Prototypen als auch für kommerzielle Produktionsanwendungen.