Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #293590415 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Delta 80T2 ist eine Fotoresistausrüstung, die eine präzise Planarisierung, Ätzung und Abbildung von dünnen Filmen ermöglicht. Es ist ein hochpräzises System, das für die Herstellung von integrierten Hochdichteschaltungen (ICs), Verbundhalbleitern, MEMS, optischen Systemen und der mikroelektromechanischen (MEMS) Geräteherstellung geeignet ist. Das Gerät verfügt über eine hochmoderne Überwachungsmaschine, die hochauflösende Kameras, Stroboskopleuchten und einen CCD-Detektor verwendet, um eine präzise Kontrolle der Ätz- und Bildgebungsprozesse zu gewährleisten. Es verfügt außerdem über ein Hochgeschwindigkeits-Ladewerkzeug mit bis zu 160 Wafern pro Zyklus, eine 12-Achsen-horizontale Bewegungseinheit und ein optisches Mehrfachöffnungsmodell. MICROTEC Delta 80T2 nutzt eine leistungsstarke Xenon-Lampe mit schonendem Aufwärmzyklus und präzisem Kupplungseingriff sowie eine fortschrittliche Rezeptsteuereinheit mit präziser Taktung sowie fortschrittliche Funktionen wie automatische Hintergrundverschluss-, In-situ-Filmmessung und XY-Achsen-Feineinstellung für eine präzise CD-Rückätzsteuerung. Es verfügt über eine breite Palette von automatischen Prozesssteuerungsfunktionen, von automatischen Belichtungssteuerungen und CD über CD-Steuerung, Bildverbesserungssteuerung, eine Suite von in-situ CD-SEM-Überwachungswerkzeugen und eine temperaturgesteuerte Probenhandhabungsausrüstung. Es enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, eine nasse Bank Sicherheitsschalter, und eine umfassende Ätzkolben-Steuerung. KARL RUß Delta 80T2 ist eine vielseitige Photolackeinheit, die durch präzise Steuerung und hohe Genauigkeit hochauflösende Bilder und hohe Prozesskonsistenz erzielen kann. Seine überlegene Ätzleistung reduziert die Kosten für den Prozessaufwand und die Ertragseinbußen für Wafer auf ein Minimum. Mit seinen eingebauten Fehlerschutzsystemen kann es eine breite Palette von Nanometer-Merkmalsgrößen und Steigungsdichten produzieren, die für verschiedene Anwendungen geeignet sind.