Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9190377 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Delta 80T2 ist eine Photoresist-Ausrüstung für optische Lithographieanwendungen. Es ist ein High-End-Laser-Interferometer-basiertes optisches Photolithographiesystem, das in der Lage ist, Merkmalsgrößen bis zu 0,8 Mikrometer herzustellen. Das Gerät wurde entwickelt, um ein hochauflösendes Bildgebungswerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen anzuwenden, von Halbleitern, Displays und fortschrittlichen Verpackungen bis hin zu mikroelektronischen Verpackungen. Es besteht aus einem Abbildungskopf, einer automatisierten Bühne und einem ausgeklügelten Softwarepaket und Hardware zur Steuerung und Optimierung des Belichtungsprozesses. Der Abbildungskopf dient als Hauptschnittstelle zum Benutzer und besteht aus einem kontinuierlichen UV-Laser, der optisch mit einer durchlässigen X/Y-Abtaststufe gekoppelt ist. Die Laser-Interferometer-basierte Maschine ist in der Lage, eine Maske oder einen Wafer genau und wiederholt innerhalb von 2 Mikrometern über mehrere hundert mm zu positionieren. Das Werkzeug kann auch die Bühnenpositionen dynamisch einstellen, um den Abbildungsprozess zu optimieren. Die automatisierte Stufe ist eine hochgenaue, motorisierte Stufe mit einer Auflösung von bis zu 0,2 µm. Es ist in der Lage, in-situ Heizung und Kühlung, und bietet ein Maß an Genauigkeit, die übertrifft, dass vom Menschen angeboten. Die Bühne verfügt über einen robusten und flexiblen Antrieb für die optisch adressierte X/Y-Abtaststufe. MICROTEC Delta 80T2 ist mit einem fortschrittlichen Softwarepaket ausgestattet, mit dem Anwender den Belichtungsprozess steuern und die Bildqualität optimieren können. Die Software enthält Rezepte für traditionelle und fortschrittliche Photolithographie-Anwendungen und bietet eine breite Palette von Belichtungsparametereinstellungen. Darüber hinaus kann der Benutzer auf eine große Bibliothek mit Rezepten und anpassbaren Rezepten für spezielle Prozessanwendungen zugreifen. KARL RUß Delta 80T2 ist in der Lage, je nach Anwendungsfall unterschiedliche Belichtungsstufen und Belichtungszeiten zu verarbeiten. Es bietet eine Reihe von Werkzeugen zum Messen, Überwachen und Messen der Prozessparameter während des Betriebs der Anlage. Es ist auch in der Lage, Daten zu protokollieren und zu berichten, um die Ergebnisse eines bestimmten Prozesses zu analysieren. Zusammenfassend ist Delta 80T2 ein High-End-Modell für optische Lithographieanwendungen. Es bietet eine hohe Genauigkeit bis zu 0,2 Mikrometer und kann sowohl herkömmliche als auch fortschrittliche Photolithographie-Anwendungen ausführen. Die zuverlässigen Antriebssysteme und das fortschrittliche Softwarepaket sorgen dafür, dass Benutzer das Beste aus ihren Prozessen herausholen können.