Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Falcon #293652799 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Falcon ist eine Hochleistungs-Photoresist (PR) -Ausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Funktionen für die Herstellung von Photomasken und Halbleiterbauelementen bereitzustellen. Das System ist mit einem großen, vakuumschwimmenden Beschichtungskopf ausgestattet, der in der Lage ist, bis zu drei verschiedene Resiststoffe auf einem einzigen Substrat zu beschichten, einschließlich Trockenfilmfotoresists, aufgesponnenen Photoresists und flüssigen Lithographieresistenzen. Die unterirdische Heizeinheit sorgt für eine gleichmäßige Temperaturregelung und hochgleichmäßige Resistbeschichtungen. Durch die Ausrichtung eines Laserinterferometers auf die optische Achse der Maschine werden hochauflösende Belichtungen erreicht. Die Detektorebene kann innerhalb von 5 µm der optischen Achse eingestellt werden. Die geschlossene Belichtungssubstratstufensteuerung sorgt für stark wiederholbare Lithographieverfahren. Das Werkzeug ist auch in der Lage, komplizierte Steigungen und hohe Seitenverhältnisse zu handhaben, die für die fortschrittliche Lithographie wesentlich sind. Die Anlage ermöglicht eine optimale Bildgebung durch gleichzeitige Ausrichtung von Fotomaske und Substrat und ermöglicht eine kritische Ausrichtung der Muster auf das Substrat mit minimalen Positionsverschiebungen. Dadurch wird ein genaues Bedrucken der Strukturen auf das Substrat mit hoher Genauigkeit gewährleistet. MICROTEC Falcon ist ein sehr vielseitiges Modell mit benutzerfreundlicher Software für eine einfache Ausstattung. Es ermöglicht einstufige Lithographieprozesse, wodurch mehrere Schritte wie das Pre-Imagiing vor der tatsächlichen Belichtung entfallen. Diese Funktion spart Zeit und erhöht den Produktionsdurchsatz. Die hochmoderne Software des Systems umfasst Funktionen wie mehrstufige Prescan, mehrstufige Resistoptimierung, erweiterte Maskenkorrektur, adaptive Mustererkennung sowie Stufen- und Wiederholungslithographie-Einrichtung. Das Gerät ist auch in der Lage, erweiterte Druckanforderungen zu handhaben. Es beinhaltet Besonderheiten wie optische Graustufenerzeugung und einstellbare Folienrückspannung für Binär- und Phasenverschiebungsmaskenbelichtungen. Diese Funktion bietet eine Vielzahl von Behandlungskombinationen für verschiedene Anwendungen. KARL RUß Falcon ist eine fortschrittliche Fotoresistmaschine, die ein breites Spektrum an Funktionen für die Masken- und Geräteherstellung bietet. Es bietet genaue und wiederholbare Lithographieverfahren für präzisen Musterdruck und belichtet eine breite Palette von Photomasken-Typen. Mit seiner fortschrittlichen Software und der präzisen Steuerung ist dieses Tool eine ausgezeichnete Wahl für die fortschrittliche Substratverarbeitung.