Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9211225 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC Falcon
ID: 9211225
Weinlese: 2002
Coater / Developer system 2002 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Falcon ist eine hochleistungsfähige, flexilexible photolithographische Ausrüstung für fortschrittliche Direktbild- und Waferbeschichtungslösungen. Es besteht aus einer benutzerfreundlichen, modularen und hochentwickelten Plattform mit fortschrittlicher Robotik, die eine präzise Ausrichtung, vollständige Automatisierung von Verarbeitungsabläufen und hochpräzise Ergebnisse ermöglicht. Das System MICROTEC Falcon nutzt erstklassige Optik, Laser und Fotooptik, um nahezu perfekte Muster bis 25 nm oder darunter zu erzeugen und ist in der Lage, Substrate von 3 bis 8 Zoll Durchmesser chargenweise zu verarbeiten. Die branchenführenden Rezepte für photoresistbeschichtete Wafer basieren auf strengen Standards und bieten hohen Durchsatz, zuverlässige Produktion und einfache Reproduzierbarkeit. Das Gerät umfasst eine hochauflösende 6-Megapixel-Kamera zur Detektion von Strahlaustastungen und ein hochauflösendes Videomikroskop, das eine Bildverarbeitung, Waferausrichtung und Partikelanalyse ermöglicht. Die automatisierten Belichtungsschächte sorgen für eine genaue und konsistente Belichtung von Photoresist, mit einer typischen Overlay-Gleichmäßigkeit von 0,1-0,2 Mikrometern oder besser. Die integrierte Opticron-Ausrichtstufe bietet eine Sieben-Achsen-Ausrichtmaschine, während ein Messtechnik-Werkzeug für ein unglaublich präzises und zuverlässiges Prozessfenster sorgt. Ein Nion Mikrowellenbeschleuniger befindet sich stromaufwärts, wodurch eine hohe Prozessverfeinerung entfällt, was schnellere Prozesszeiten und eine höhere Auflösung ermöglicht. KARL RUß Falcon asset verfügt auch über integrierte Automatisierung für die 3D-Funktionserkennung, Smart Arm-Technologie und Wafer-Handling-Systeme, die den Durchsatz optimieren. Schließlich helfen Interlocks, die sicherstellen, dass die Kammer dem Standard für die Verarbeitung empfindlicher Materialien wie einer Reinraumumgebung entspricht, Ihren Herstellungsprozess effizient und kontrolliert zu gestalten. Falcon-Modell bringt fortschrittliche Photolithographie auf die nächste Stufe, mit einer Edelstahlplattform und integrierter Roboterausrüstung, die es perfekt für branchenübliche Photoresist-Anwendungen machen. Es ist die Fähigkeit, Substrate bis zu 8-Zoll-Größe zu verarbeiten, und es ist weltbekannte Genauigkeit, macht es eine ausgezeichnete Wahl für anspruchsvolle photolithographische Anwendungen.
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