Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9247695 zu verkaufen

ID: 9247695
Wafergröße: 6"
Coater / Developer systems, 6"-8" Single cassette Specific transport 1000 Watt lamp Curve glass Simple face.
KARL RUß/MICROTEC Falcon ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung elektromechanischer Mikro- und Nanosysteme (MEMS und NEMS). Das System besteht aus einer 3-Achsen-Stufe mit eingebauter Vakuumeinheit und einer modularen regalmontierbaren optischen Plattform. Es ist mit einer hochpräzisen Mikronuvex-optischen Maschine ausgestattet, die eine Genauigkeit und Wiederholbarkeit von bis zu 100 nm sowie einen digitalen Z-Achsen-Scanner mit einer Auflösung von 0,6um bietet. Es verfügt auch über einen Hochgeschwindigkeits-Laser-Wafer Scriber, um Genauigkeit, Geschwindigkeit und Produktivität zu erhöhen. MICROTEC Falcon verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-motorisierte Z-Achse, die eine Bewegung von bis zu 5 nm/s ermöglicht. Es ist benutzerfreundlich und verfügt über eine Touchscreen-Benutzeroberfläche und mehrsprachige Optionen. Die einfach zu bedienende Oberfläche ermöglicht die Hoch- und Abwärtswahl mit verschiedenen vordefinierten Einstellungen und ermöglicht die Programmierung komplexer 3D-Muster. KARL RUß Falcon ist für die Handhabung mehrerer Resisttypen von dick bis dünn mit gleichmäßiger Dicke konzipiert. Das eingebaute Spinnfutterwerkzeug passt sich mit einer automatischen Ober-/Unterbeschichtung automatisch der entsprechenden Substrathöhe an. Die Ausrichtung des zweiachsigen Wafer-Ausrichtungsobjekts kann an jede Tiefe und Breite angepasst werden. Das Modell unterstützt verschiedene Vakuumstufen von 10-7 bis 102 Torr, die eine hochwertige Verarbeitung und langfristige Wartung ermöglichen. Die automatische Vakuumerzeugung sorgt für einen optimalen Vakuumdruck, während die eingebaute Entgasungsanlage den Betrieb des Galvanometers aufrechterhält, indem kurzzeitige Änderungen verhindert werden. Das System ist auch mit einem Gasstoßdämpfer ausgestattet, der die Vibration durch externe Quellen reduziert, was zu einer besseren Genauigkeit während des Photolackbelichtungsprozesses führt. Falcon ist unter Berücksichtigung der höchsten Sicherheitsstandards konzipiert und erfüllt alle anwendbaren CE-Anforderungen. Das Gerät ist so konzipiert, dass es mit den meisten Standard-Sicherheitsprotokollen wie Lockout/Tagout, Gefahrstoffhandling und EPA/OSHA-Anforderungen arbeitet. Insgesamt ist KARL RUß/MICROTEC Falcon eine vielseitige und zuverlässige Fotolackmaschine, die auf die Bedürfnisse der Hersteller in der elektromechanischen Mikro- und Nanoindustrie zugeschnitten ist.
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