Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #293828179 zu verkaufen
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ID: 293828179
Wafergröße: 4"-6"
Automatic coater system, 4"-6"
Robot type: GENMARK 4S0401013
(2) IO Ports
(2) Hot plates
Cool plate
HMDS Module
(3) Bellow pumps
Spin coating station
Developer station.
KARL RUß/MICROTEC Gamma 60 Photoresist-Geräte Schnittstellen mit jeder Standard-Halbleiter-Prozesslinie und ermöglicht die Herstellung komplexer Mikrostrukturen mit Mikron-Ebene Genauigkeit und Auflösung. Das System ist kompakt und modular aufgebaut und integriert die fortschrittlichsten Elektronenstrahlmuster- und Resistverarbeitungstechnologien der Welt. Dies ermöglicht eine beispiellose Musterqualität und eine kritische KE-Kontrolle, wodurch die höchste Gleichmäßigkeit und genaueste Overlay-Ausrichtung erreicht wird. MICROTEC Gamma 60 verwendet eine große Flächenstufe und bietet ein großflächiges Belichtungsfeld, das es ideal für die Herstellung großer Chips macht. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Design die volle Fernbedienung des Geräts und sorgt für maximale Bedienersicherheit. Die Maschine bietet eine ausgezeichnete Auflösung für die Spanmusterung und verfügt über einen Hochgeschwindigkeitsstrahlblanker für eine reduzierte Belichtungszeit. Darüber hinaus bietet es eine hervorragende Fokusgenauigkeit und Feldtiefenkorrektur, die die Herstellung mehrerer Schichten mit gewünschten Tiefen ermöglicht. KARL RUß Gamma 60 verwendet einen kontrastreichen Programmierer, um die genaueste Funktion Auflösung und kritische Dimension (CD) Steuerung zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine breite Palette von Prozessparametern wie Expositionsdosis und Fokus, die ferngesteuert eingestellt werden können, und bietet eine einfache und zuverlässige Prozessoptimierung. Das Tool verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es einfach macht, den Elektronenstrahl zu führen und die Prozessparameter für optimale Ergebnisse zu steuern. Gamma 60 verfügt auch über eine fortschrittliche optische Komponente, die eine direkte visuelle Inspektion des Wafers zur Erkennung von Fehlern in Echtzeit ermöglicht. KARL RUß/MICROTEC Gamma 60 erzeugt unglaublich stabile und reproduzierbare Bilder und ist damit ideal für repetitive Produktionsumgebungen. Darüber hinaus wird das Modell durch umfassende Dokumentation und technische Unterstützung unterstützt, die höchste Leistung und Zuverlässigkeit gewährleisten.
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