Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80 #9269957 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80
ID: 9269957
Weinlese: 2003
Spin coater Missing parts 2003 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma 80 ist eine hochmoderne Photoresistausrüstung für Mikrofabrikationsanwendungen. Dieses System verwendet eine Kombination aus UV-empfindlichem Photolack und einer langwelligen Lithographie-Belichtungsquelle, um qualitativ hochwertige Bilder in Photolackmaterialien zu erzeugen. Die in MICROTEC Gamma 80 verwendete Belichtungsquelle ist ein 10mJ Langwellenlaser, der im Bereich von 365nm arbeitet, was fast die doppelte Wellenlänge herkömmlicher ArF-basierter Systeme ist. Dies ermöglicht kleinere Formelementgrößen mit einer höchstmöglichen Linienbreite von 10nm. Gleichzeitig ermöglicht dies auch eine stärkere Steuerung der für den Photowiderstandsprozess erforderlichen Belichtungszeiten und Energien. KARL RUß Gamma 80 hat eine maximale Auflösung von 5,5 μ m und eine optische Ausrichtungsgenauigkeit von 5 μ m bei der Abbildung auf Fotoresistmaterialien. Dadurch können hochauflösende Muster in Photoresists erzeugt werden, die die Herstellung komplexer Bauelemente oder Komponenten im Mikro- und Nanobereich ermöglichen. Genauer gesagt ermöglicht Gamma 80 die Abscheidung und Lithographie von dicken SU-8 Photolacken mit Dicken bis zu 20 μ m und gießbaren ultradünnen (ultradünnen) Photolacken mit Dicken bis zu 0,45 μ m. Die Maschine hat auch eine integrierte Pellikel, die hilft, das Substrat während der Belichtung zu schützen. Darüber hinaus bietet KARL RUß/MICROTEC Gamma 80 auch eine Vielzahl von Reinraumlösungen, wie automatisiertes Fotoresist Spinnen und Backen, was zu einem vereinfachten und präzisen Photoresist-Verfahren führt. Diese Lösungen ermöglichen eine höhere Prozesskonsistenz und Gleichmäßigkeit, was zu Ergebnissen mit hoher Ausbeute führt. Schließlich bietet MICROTEC Gamma 80 ein fortschrittliches Softwarepaket zur Steuerung des Prozesses. Diese Software ermöglicht die vollständige Überwachung und Anpassung der Werkzeugparameter, einschließlich Laserleistung, Belichtungszeit und andere erweiterte Parameter. Die Software bietet auch eine Reihe von benutzerfreundlichen Tools, mit denen Sie die Asset-Einstellungen schnell anpassen und Bilder anzeigen können, was einen schnellen und mühelosen Betrieb ermöglicht. Alles in allem ist KARL RUß Gamma 80 ein fortschrittliches und leistungsstarkes Fotolackmodell, das hochauflösende Bildgebung, automatisierte Prozesse und fortschrittliche Software bietet, um komplexe Muster in Photolackmaterialien herzustellen.
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