Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C #9210359 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C
ID: 9210359
Wafergröße: 8"
Spin coater, 8".
KARL RUß/MICROTEC Gamma 80C Photoresist Equipment ist ein Immersionsbelichtungswerkzeug für die Mikroelektronik-Produktion. Es verfügt über eine breite Palette von Belichtungsfunktionen für eine Vielzahl von Photoresist-Technologien von 4 „bis 8“ Durchmesser und von 6 mils bis 250 mils in weichen und hardbaked Resistkonfigurationen von einer Reihe von Anbietern. MICROTEC Gamma 80C verfügt über ein 400 mm breites Scanbett und ein automatisiertes Wafer-Handling-System mit optionaler Kühleinheit. Zu den Merkmalen gehören Schmalfeldbelichtung, Feldnähte und Mehrfeldbelichtung für schnelleren Durchsatz und größere Wafergrößen. Darüber hinaus verfügt KARL RUß Gamma 80C über eine begrenzte Barcode-Erkennungseinheit, die programmatische Änderungen in den Belichtungseinstellungen ermöglicht, um verschiedenen Lithographieaufgaben gerecht zu werden. Gamma 80C ist sowohl mit einem speziell entwickelten Laser-Auto-Aligner als auch mit einer Belichtungssteuerungsmaschine ausgestattet, die Dosiswerte in mehreren Bereichen eines einzelnen Wafers genau steuern kann. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine vollständige Reihe von Software und Steuerungen, die für die Einrichtung und Automatisierung eines erfolgreichen Belichtungsprozesses erforderlich sind, einschließlich Parameterkonfiguration, Simulation und Diagnose. KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C verwertet ein Festkörperfeldbalkengleichförmigkeitskorrekturenwerkzeug, um repeatable, konsequente Drucke zu bieten. Bei Verwendung in Verbindung mit dem dynamischen Graustufenkorrekturalgorithmus erhöht er die Genauigkeit und Wiederholbarkeit belichteter Formen, indem er Vorbelichtungsparameter feinjustiert und die Dosishomogenität kontrolliert. MICROTEC Gamma 80C verfügt auch über ein integriertes integriertes Strahlmonitormodul, das Rückmeldungen zur Belichtungsleistung und Prozessstabilität liefert. Dieses Feedback ermöglicht sofortige Anpassungen zur Ergebnisoptimierung und liefert Online-Daten für die Echtzeit-Prozesssteuerung. Schließlich ist KARL RUß Gamma 80C das ultimative Werkzeug für Lithographieanwendungen im Sicherheitsdruck, in feinen Industrietextilien, Leiterplatten und anderen Präzisionsfotoresistarbeiten. Seine Genauigkeit, Wiederholbarkeit und automatisierten Optionen machen es die perfekte Wahl für jede Fotolackarbeit.
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