Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232865 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9232865
Weinlese: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU (50 Hz)
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma DSSP ist eine hochpräzise Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von Mikrochips weit verbreitet ist. Das System verwendet eine Hochleistungs-UV-Lichtquelle kombiniert mit einer ausgeklügelten Optik, die die Herstellung präziser Muster auf einer Reihe von Photolackmaterialien ermöglicht. Im Kern der Einheit befindet sich die Gamma-Lichtquelle, die auf einer 1200-Watt-Xenon-Bogenlampe basiert. Dadurch kann die Maschine eine hoch fokussierte Säule aus UV-Licht erzeugen, die sowohl in der Leistung als auch in der Belichtungszeit einstellbar ist. Der Lichtstrahl wird durch einen Satz Linsen und Spiegel geformt und kollimiert und dann auf das Substrat gerichtet. Im Kern des Werkzeugs befindet sich der CCD-Positionierer, der eine präzise und wiederholbare Ausrichtung des Substrats relativ zur Lichtquelle ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass die exakte Lichtmenge exakt an der richtigen Position auf der Oberfläche abgegeben wird. Der CCD-Positionierer ist auch in der Lage, das Vorhandensein des Substrats zu erkennen und die notwendigen Anpassungen vorzunehmen, um das Licht richtig zu fokussieren. Neben der leistungsstarken Lichtquelle und Optik umfasst das Asset auch eine Reihe von Präzisionssteuerelektronik. Dies ermöglicht eine Feinabstimmung der Lichtquelle und der Optik, um eine bestmögliche Belichtung des Photolacks zu gewährleisten. Die präzise Steuerung der Lichtbelichtung sorgt dafür, dass kleinste Details exakt auf den Fotolack übertragen werden können. MICROTEC Gamma DSSP Photoresist Modell ist in der Lage, hochgenaue Muster auf ein- und doppelschichtigen Photoresists zu produzieren. Es ist weit verbreitet in der Halbleiterindustrie für die Herstellung einer Vielzahl von integrierten Schaltungen und Mikrochips verwendet. Mit seiner Kombination aus ausgeklügelter Optik, präziser Steuerelektronik und einer Hochleistungslichtquelle kann KARL RUß Gamma DSSP Muster mit sehr hoher Detailgenauigkeit und Genauigkeit erzeugen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor