Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232866 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9232866
Weinlese: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / 100006861 / Special substrate assembly R4 alta sprays BSR
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU, 50 Hz
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L Stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma DSSP ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Mikrofertigung. Es kombiniert sowohl optische als auch elektrische Techniken, um die präzise Abscheidung einer Resistschicht auf Substratoberflächen zu gewährleisten. Das System besteht aus einer Vakuumabscheidekammer, einem Vakuummanipulator, einer Spritzeneinheit und einer Mustermaske. Die Abscheidekammer beherbergt eine hochpräzise, pneumatisch betriebene Plattform, die sich dreidimensional bewegen kann. Diese Plattform ermöglicht eine wiederholbare Platzierung des Wafers in unmittelbarer Nähe der Maske. Das Abscheidematerial, typischerweise eine fortgeschrittene Photolackformulierung wie ein Photolackpolymer, wird durch eine Spritzenmaschine gepumpt. Das Spritzenwerkzeug kann zur präzisen Steuerung der Durchflussmenge, Dosierung und Strukturierung des Photolackmaterials angepasst werden. Die Anlage enthält auch eine Mustermaske, typischerweise aus Quarz oder Metall, die an der Abscheidekammer angebracht ist. Die Maske dient dazu, die Belichtung des abgeschiedenen Photolackmaterials auf bestimmte Bereiche zu begrenzen. Das Muster der Maske wird durch Lithographie erzeugt. Das integrierte Laserbelichtungsmodell liefert dann ultraviolettes Licht, um die Aktivierung der belichteten Bereiche zu verbessern. Für das Gerät steht eine Reihe von Spannungseinstellungen zur Verfügung, die eine individuelle Abscheidezeit und eine präzise Kontrolle der Resistschichtqualität ermöglichen. Die Resistschicht wird bei einer anwenderwählbaren Temperatur „gebacken“, um physikalische, chemische oder elektrische Bindungen zwischen den Schichten herzustellen. Das System verfügt auch über pneumatische Steuerung der Vakuumkammer für ultimative Präzision und Wiederholbarkeit des gesamten Prozesses. MICROTEC Gamma DSSP ist eine fortschrittliche Photolackeinheit mit der Fähigkeit, extrem dünne, gleichmäßige, komplexe Schichten auf Substratoberflächen abzuscheiden. Es kombiniert hochpräzise, maßgeschneiderte Spritzensysteme mit anspruchsvollen Mustertechniken aus der Lithographie, um präzise, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Es ist eine vielseitige Maschine, die Anwendern die vollständige Kontrolle über den Abscheideprozess für eine breite Palette von Mikrofabrikationsanwendungen bietet.
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